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[發(fā)明專(zhuān)利]一種用單源熱蒸發(fā)制備CH3NH3PbI3薄膜的方法在審

專(zhuān)利信息
申請(qǐng)?zhí)枺?/td> 201810664742.2 申請(qǐng)日: 2018-06-25
公開(kāi)(公告)號(hào): CN108796449A 公開(kāi)(公告)日: 2018-11-13
發(fā)明(設(shè)計(jì))人: 高斐;武鑫;高蓉蓉;雷婕;王昊旭;李娟;劉生忠 申請(qǐng)(專(zhuān)利權(quán))人: 陜西師范大學(xué)
主分類(lèi)號(hào): C23C14/24 分類(lèi)號(hào): C23C14/24;C23C14/06
代理公司: 西安永生專(zhuān)利代理有限責(zé)任公司 61201 代理人: 高雪霞
地址: 710062 *** 國(guó)省代碼: 陜西;61
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摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 蒸發(fā) 蒸鍍 薄膜 源熱 前驅(qū)體 速率比 制備 沉積薄膜 時(shí)間保持 雙源共蒸 蒸發(fā)法制 摩爾比 源材料 蒸發(fā)源 地調(diào) 壓片 沉積
【說(shuō)明書(shū)】:

發(fā)明公開(kāi)了一種用單源熱蒸發(fā)制備CH3NH3PbI3薄膜的方法,先將CH3NH3I和PbI2按一定的摩爾比混合后壓片,制成片狀CH3NH3PbI3,然后以該片狀CH3NH3PbI3為蒸鍍?cè)希捎脝卧礋嵴舭l(fā)法制備CH3NH3PbI3薄膜。本發(fā)明方法操作簡(jiǎn)單,蒸鍍前不需要花費(fèi)時(shí)間將兩種前驅(qū)體CH3NH3I和PbI2的蒸發(fā)速率準(zhǔn)確地調(diào)至特定速率比,蒸鍍時(shí)源材料從一個(gè)蒸發(fā)源蒸發(fā)出來(lái)沉積薄膜,同時(shí)也解決了雙源共蒸法在蒸鍍過(guò)程中長(zhǎng)時(shí)間保持兩種前驅(qū)體的一定蒸發(fā)速率比困難的問(wèn)題,從而容易地沉積出高質(zhì)量的CH3NH3PbI3薄膜。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明屬于鈣鈦礦(CH3NH3PbI3)薄膜制作技術(shù)領(lǐng)域,具體涉及一種利用單源熱蒸發(fā)法來(lái)制備均勻致密的CH3NH3PbI3薄膜的方法。

背景技術(shù)

近年來(lái),鈣鈦礦(CH3NH3PbI3)太陽(yáng)能電池由于其優(yōu)異的性能受到廣泛關(guān)注,短短幾年時(shí)間,這種鈣鈦礦太陽(yáng)能電池的效率從3.8%迅速提高到23.7%。目前有多種CH3NH3PbI3薄膜制備方法,包括:溶液法(一步溶液法和兩部溶液法)、熱蒸發(fā)法、連續(xù)沉積法以及蒸汽輔助溶液法等。但是溶液法不能精確地控制形貌以及厚度,且形成的薄膜均勻性比較差,而且存在許多的缺陷,難以大面積的制備。而用熱蒸發(fā)法制備的薄膜均勻性較好,薄膜缺陷較少,可以大面積制備。

常用的熱蒸發(fā)法制備CH3NH3PbI3薄膜是采用雙源共蒸的方法,即把PbI2源材料和CH3NH3I源材料按照特定的速率進(jìn)行蒸發(fā),即可得到鈣鈦礦(CH3NH3PbI3)薄膜。但是采用雙源共蒸的方法難以長(zhǎng)時(shí)間精確地控制二者的蒸發(fā)速率,并且在蒸發(fā)前需要將兩種源材料的蒸發(fā)源速率調(diào)整到特定的速率,而這一過(guò)程比較耗時(shí)。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明所要解決的技術(shù)問(wèn)題在于克服上述雙源共蒸工藝中蒸發(fā)速率難以控制的問(wèn)題,提供一種用單源熱蒸發(fā)制備CH3NH3PbI3薄膜的方法。該方法有效的解決了蒸發(fā)速率難以控制的問(wèn)題,從而更容易制備CH3NH3PbI3薄膜。

解決上述技術(shù)問(wèn)題所采用的技術(shù)方案為:將CH3NH3I和PbI2按摩爾比為1.5~2.5:1充分研磨、混合均勻后壓片,獲得片狀CH3NH3PbI3;然后以片狀CH3NH3PbI3為蒸鍍?cè)?,采用真空熱蒸發(fā)鍍膜設(shè)備在制備有TiO2電子傳輸層的FTO導(dǎo)電玻璃表面沉積一層厚度為150~300nm的CH3NH3PbI3薄膜,沉積溫度為180~350℃,沉積速率為

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