[發(fā)明專利]多工位芯片燒錄機在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201810659681.0 | 申請日: | 2018-06-25 |
| 公開(公告)號: | CN108899291A | 公開(公告)日: | 2018-11-27 |
| 發(fā)明(設計)人: | 吳美珍 | 申請(專利權(quán))人: | 吳美珍 |
| 主分類號: | H01L21/67 | 分類號: | H01L21/67;H01L21/677;H01L21/683 |
| 代理公司: | 暫無信息 | 代理人: | 暫無信息 |
| 地址: | 310052 浙江省杭州*** | 國省代碼: | 浙江;33 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 芯片燒錄 多工位 燒錄 機械手機構(gòu) 供料機構(gòu) 機架組件 噴碼機構(gòu) 上料機架 機構(gòu)安裝 加工效率 芯片生產(chǎn) 噴碼 制造 | ||
1.多工位芯片燒錄機,其特征在于包括上料機架組件、供料機構(gòu)、噴碼機構(gòu)、燒錄機架組件、機械手機構(gòu)和燒錄機構(gòu);供料機構(gòu)和噴碼機構(gòu)安裝在上料機架組件上,機械手機構(gòu)和燒錄機構(gòu)安裝在燒錄機架組件上;
供料機構(gòu)用于IC芯片上料、IC芯片輸送和IC芯片下料;噴碼機構(gòu)位于供料機構(gòu)的上部,噴碼機構(gòu)用于對供料機構(gòu)上的IC芯片進行噴碼加工;機械手機構(gòu)用于IC芯片在供料機構(gòu)與燒錄機構(gòu)之間的搬運;燒錄機構(gòu)用于IC芯片的燒錄;
燒錄機構(gòu)包括第一燒錄機構(gòu)、第二燒錄機構(gòu)、第三燒錄機構(gòu)和第四燒錄機構(gòu),第一燒錄機構(gòu)、第二燒錄機構(gòu)、第三燒錄機構(gòu)和第四燒錄機構(gòu)分別安裝在燒錄機架組件上,呈矩陣式均勻排列;
第一燒錄機構(gòu)包括第一燒錄座A、第二燒錄座B、第三燒錄座C、第四燒錄座D、第一上層板A、第二上層板B、第三上層板C、第四上層板D、固定夾具、第一插頭A、第二插頭B、下層板、上安裝板、中間安裝板、下層安裝板、支撐塊、立柱、支撐座、保護殼、風扇和USB接口;第一燒錄座A安裝在第一上層板A上,第二燒錄座B安裝在第二上層板B上,第三燒錄座C安裝在第三上層板C上,第四燒錄座D安裝在第四上層板D上,第一燒錄座A、第二燒錄座B、第三燒錄座C、第四燒錄座D用于放置待燒錄的芯片;第一上層板A、第二上層板B、第三上層板C和第四上層板D依次安裝在固定夾具上,固定夾具固定安裝在上安裝板上,安裝板安裝在下機架上,固定夾具通過安裝板安裝在下機架上端沖壓板的矩形孔中;通過第一插頭A和第二插頭B將第一上層板A、第二上層板B、第三上層板C、第四上層板D和下層板連接;下層板底面與中間安裝板相連接,中間安裝板通過支撐塊和立柱固定安裝在下層安裝板上;下層安裝板通過支撐座安裝在上安裝板上,保護殼安裝在上安裝板底面上;保護殼內(nèi)側(cè)安裝有風扇,保護殼邊緣上設有散熱孔;USB接口安裝在保護殼內(nèi)側(cè),USB接口用于連接主機進行芯片燒錄,USB接口伸出保護殼外。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多工位芯片燒錄機,其特征在于第二燒錄機構(gòu)、第三燒錄機構(gòu)、第四燒錄機構(gòu)與第一燒錄機構(gòu)的結(jié)構(gòu)相同。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多工位芯片燒錄機,其特征在于供料機構(gòu)包括固定底板、傳動皮帶裝置、第一疊料裝置、第二疊料裝置、噴碼定位裝置、第一升降裝置、第二升降裝置和第三升降裝置;固定底板固定在上料機架組件上;傳動皮帶裝置安裝在固定底板上,傳動皮帶裝置用于運送料盤;第一疊料裝置、第二疊料裝置和噴碼定位裝置平行的安裝在傳送皮帶機構(gòu)上,第一疊料裝置用于IC芯片進料,第一疊料裝置處于傳動皮帶裝置的左端上;第二疊料裝置位于第一疊料裝置的右側(cè),第二疊料裝置用于完成加工的料盤出料,噴碼定位裝置位于第二疊料裝置的右側(cè),噴碼定位裝置用于噴碼操作時對料盤的定位;第一升降裝置、第二升降裝置、第三升降裝置平行的安裝在固定底板上,第一升降裝置位置處于第一疊料裝置正下方,第一升降裝置用于承接第一疊料裝置中的料盤;第二升降裝置位置處于第二疊料裝置正下方,第二升降裝置用于將傳動皮帶裝置中的料盤頂入第二疊料裝置中;噴碼機構(gòu)、噴碼定位裝置和第三升降裝置由上至下直線排列,第三升降裝置將傳動皮帶裝置上的料盤頂起并通過噴碼定位裝置夾緊。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多工位芯片燒錄機,其特征在于噴碼機構(gòu)包括用于前后方向移動的第一位移裝置、用于左右方向移動的第二位移裝置和噴碼機。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多工位芯片燒錄機,其特征在于機械手機構(gòu)由搬運機械手組件和機械手往復運動組件構(gòu)成,機械手往復運動組件安裝在燒錄機架組件上,搬運機械手組件安裝在機械手往復運動組件上。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多工位芯片燒錄機,其特征在于包括氣壓調(diào)節(jié)機構(gòu),氣壓調(diào)節(jié)機構(gòu)安裝在燒錄機架組件內(nèi);氣壓調(diào)節(jié)機構(gòu)包括保護殼、旋轉(zhuǎn)閥、旋鈕、旋轉(zhuǎn)閥固定座、進氣管和出氣管;保護殼通過螺栓連接固定安裝在下機架上,旋轉(zhuǎn)閥通過旋轉(zhuǎn)閥固定座固定安裝在保護殼內(nèi),進氣管固定安裝在旋轉(zhuǎn)閥的進氣口,出氣管固定安裝在旋轉(zhuǎn)閥的出氣口。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多工位芯片燒錄機,其特征在于料機架組件包括機架座、控制臺、顯示屏和控制按鈕組件;控制臺座固定安裝在機架座上,顯示屏和控制按鈕組件設置在控制臺座上。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多工位芯片燒錄機,其特征在于燒錄機架組件包括下機架、上防護罩、顯示屏、鼠標、鍵盤、主機、蓄電池、警示燈和控制按鈕組件和線束管道;下機架底部設置有萬向輪和地腳螺釘;上防護罩固定設置在下機架上顯示屏安裝在上防護罩上方;鼠標、鍵盤放在防護罩上方;主機固定安裝在下機架內(nèi),主機、鼠標、鍵盤用于對搬運機械手組件下料時進行自動定位;蓄電池排固定安裝在下機架內(nèi)部;警示燈固定設置在上防護罩上方,控制按鈕組件固定設置在下機架側(cè)面上,線束管道固定安裝在下機架內(nèi)。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





