[發明專利]高可靠性的溫度傳感器

在審

• 申請號: 201810658515.9
• 申請日: 2018-06-25
• 公開（公告）號: CN108801492A
• 公開（公告）日: 2018-11-13
• 發明（設計）人: 毛靜
• 申請（專利權）人: 江蘇林大智能科技應用研究院有限公司
• 主分類號: G01K7/22
• 分類號: G01K7/22;H01C7/02;H01C7/04
• 代理公司: 北京遠大卓悅知識產權代理事務所(普通合伙) 11369
• 代理人: 韓飛

本案涉及一種高可靠性的溫度傳感器，包括：絕緣性薄膜；薄膜熱敏電阻部，以熱敏電阻材料形成于絕緣性薄膜的表面；一對電極，形成于絕緣性薄膜上且連接于薄膜熱敏電阻部；熱敏電阻材料由以下重量份的材料組成：Ta₃AlC₂50重量份；V₃AlC₂20～22重量份；氧化錳12～14重量份；鉑3～5重量份。本發明通過在對溫度傳感器的熱敏材料進行改進，其具有良好的B常數和耐熱性，本發明的溫度傳感器彎曲強度高，不易產生裂紋，具有高耐熱性和可靠性。

技術領域

本發明涉及溫度傳感器元件，尤其涉及一種高可靠性的溫度傳感器。

背景技術

作為信息設備、通信設備、醫用設備、住宅設備儀器、汽車用傳輸設備等的溫度傳感器(也包括流量傳感器)，存在包括具有較大的負的溫度系數的氧化物半導體的燒結體的熱敏電阻。現有的熱敏電阻在高溫環境下的電阻特性的變化較大，耐熱性較低，可靠性差。

發明內容

針對現有技術中存在的技術問題，本案提供一種溫度傳感器，其具有優異的耐熱性和高可靠性。

為實現上述目的，本案通過以下技術方案實現：

一種高可靠性的溫度傳感器，其中，包括：

絕緣性薄膜；

薄膜熱敏電阻部，以熱敏電阻材料形成于所述絕緣性薄膜的表面；

一對電極，形成于所述絕緣性薄膜上且連接于所述薄膜熱敏電阻部；

其中，熱敏電阻材料由以下重量份的材料組成：

優選的是，所述的高可靠性的溫度傳感器，其中，所述熱敏電阻材料還包括2～4重量份Ti₄SiC₃。

優選的是，所述的高可靠性的溫度傳感器，其中，所述熱敏電阻材料還包括1～3重量份Cu-Ti₃AlC₂。

優選的是，所述的高可靠性的溫度傳感器，其中，所述熱敏電阻材料還包括1～3重量份氧化鎢。

優選的是，所述的高可靠性的溫度傳感器，其中，所述熱敏電阻材料還包括1～3重量份氧化鈷。

優選的是，所述的高可靠性的溫度傳感器，其中，所述熱敏電阻材料還包括1～3重量份氧化鋅。

優選的是，所述的高可靠性的溫度傳感器，其中，所述Ta₃AlC₂、V₃AlC₂、氧化錳、鉑、Ti₄SiC₃、Cu-Ti₃AlC₂、氧化鎢、氧化鈷和氧化鋅的粒徑為30～50nm。

本發明的有益效果是：

(1)本發明通過在對溫度傳感器的熱敏材料進行改進，使其具有良好的B常數和耐熱性，本發明的溫度傳感器彎曲強度高，不易產生裂紋，具有高耐熱性和可靠性。

(2)Ta₃AlC₂作為熱敏電阻材料的主體，其具有常數B值高的優點；通過加入V₃AlC₂提高熱敏電阻材料的熱穩定性；通過加入氧化錳提高其耐腐蝕性能；通過加入鉑提高熱敏電阻材料的彎曲強度；Ti₄SiC₃和Cu-Ti₃AlC₂協同提高熱敏電阻材料的抗沖擊強度和硬度；通過加入氧化鎢提高其熱穩定性能和耐高溫性能；通過加入氧化鈷提高其柔韌性；通過加入氧化鋅提高其熱穩定性能。

具體實施方式