[發明專利]高可靠性的溫度傳感器在審
| 申請號： | 201810658515.9 | 申請日： | 2018-06-25 |
| 公開（公告）號： | CN108801492A | 公開（公告）日： | 2018-11-13 |
| 發明（設計）人： | 毛靜 | 申請（專利權）人： | 江蘇林大智能科技應用研究院有限公司 |
| 主分類號： | G01K7/22 | 分類號： | G01K7/22;H01C7/02;H01C7/04 |
| 代理公司： | 北京遠大卓悅知識產權代理事務所(普通合伙) 11369 | 代理人： | 韓飛 |
| 地址： | 223700 江蘇省宿*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 重量份 溫度傳感器 絕緣性薄膜 薄膜熱敏電阻 熱敏電阻材料 高可靠性 耐熱性 高耐熱性 熱敏材料 電極 氧化錳 改進 | ||
【權利要求書】：
1.一種高可靠性的溫度傳感器，其特征在于，包括：
絕緣性薄膜；
薄膜熱敏電阻部，以熱敏電阻材料形成于所述絕緣性薄膜的表面；
一對電極，形成于所述絕緣性薄膜上且連接于所述薄膜熱敏電阻部；
其中，熱敏電阻材料由以下重量份的材料組成：
2.如權利要求1所述的高可靠性的溫度傳感器，其特征在于，所述熱敏電阻材料還包括2～4重量份Ti4SiC3。
3.如權利要求2所述的高可靠性的溫度傳感器，其特征在于，所述熱敏電阻材料還包括1～3重量份Cu-Ti3AlC2。
4.如權利要求3所述的高可靠性的溫度傳感器，其特征在于，所述熱敏電阻材料還包括1～3重量份氧化鎢。
5.如權利要求4所述的高可靠性的溫度傳感器，其特征在于，所述熱敏電阻材料還包括1～3重量份氧化鈷。
6.如權利要求5所述的高可靠性的溫度傳感器，其特征在于，所述熱敏電阻材料還包括1～3重量份氧化鋅。
7.如權利要求6所述的高可靠性的溫度傳感器，其特征在于，所述Ta3AlC2、V3AlC2、氧化錳、鉑、Ti4SiC3、Cu-Ti3AlC2、氧化鎢、氧化鈷和氧化鋅的粒徑為30～50nm。
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