[發明專利]一種復合薄膜在審
| 申請號： | 201810653476.3 | 申請日： | 2018-06-22 |
| 公開（公告）號： | CN108766631A | 公開（公告）日： | 2018-11-06 |
| 發明（設計）人： | 王旭;褚繁;錢娟 | 申請（專利權）人： | 無錫眾創未來科技應用有限公司 |
| 主分類號： | H01B5/14 | 分類號： | H01B5/14 |
| 代理公司： | 廣州市百拓共享專利代理事務所(特殊普通合伙) 44497 | 代理人： | 盧剛 |
| 地址： | 214100 江蘇省*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 透明層 導電層 沉積 側面 基材 氧化物透明導電薄膜 復合薄膜結構 透明導電薄膜 薄膜結構 導電薄膜 低溫制備 復合薄膜 高導電性 高透光性 光電元件 金屬電極 薄型化 納米級 半導體 | ||
【權利要求書】：
1.一種復合薄膜，設置在光電元件或基材及至少一個金屬電極之間，其特征在于：從該基材或該光電元件向上依序設有第一透明層、導電層及第二透明層，該第一透明層為半導體透明導電薄膜，沉積在該基材的一側面，該導電層為納米級的導電薄膜，沉積在該第一透明層的一側面，第二透明層為氧化物透明導電薄膜，沉積在該導電層的一側面。
2.如權利要求1所述的復合薄膜，其中，第一透明層與第二透明層的材質為鋅鎵鈦氧化物的氧化物透明導電薄膜，其組成是為GaxTiyZn1-x-yO，且0<x<1，0<y<1，1-x-y>0。
3.如權利要求1所述的復合薄膜，其中，第一透明層與第二透明層的厚度總和是70-140納米。
4.如權利要求1所述的復合薄膜，其中，導電層為薄化金屬或石墨烯薄膜。
5.如權利要求1所述的復合薄膜，其中，薄化金屬材質是選自金、銀、銅、鈦、鋁、鎢的其中一種或其合金。
6.如權利要求1所述的復合薄膜，其中，該導電層的厚度是介于10到25納米。
7.如權利要求1所述的復合薄膜，其中，第一透明層、第二透明層和導電層通過物理或化學沉積方式形成。
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