[發明專利]一種太陽能電池及其制備方法有效
| 申請號: | 201810653404.9 | 申請日: | 2018-06-22 |
| 公開(公告)號: | CN108878656B | 公開(公告)日: | 2021-11-23 |
| 發明(設計)人: | 張軍 | 申請(專利權)人: | 江蘇日御光伏新材料科技有限公司 |
| 主分類號: | H01L51/42 | 分類號: | H01L51/42;H01L51/44;H01L51/46 |
| 代理公司: | 北京華仁聯合知識產權代理有限公司 11588 | 代理人: | 陶長清 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 太陽能電池 及其 制備 方法 | ||
本發明涉及一種太陽能電池及其制備方法,包括以下步驟:對N型單晶硅片進行制絨處理,在所述N型單晶硅片的上表面形成N型多晶硅層,使得所述N型多晶硅層的摻雜濃度小于所述N型單晶硅片的摻雜濃度,在所述N型多晶硅層的表面依次形成無機絕緣薄層、第一Spiro?OMeTAD層、第二Spiro?OMeTAD層、第一PEDOT:PSS層以及第二PEDOT:PSS層,接著在所述N型單晶硅片的上表面制備正面銀柵電極并在所述n型硅片的下表面制備背面鋁電極。該太陽能電池具有優異的光電轉換效率。
技術領域
本發明涉及太陽能電池技術領域,特別是涉及一種太陽能電池及其制備方法。
背景技術
現有的有機無機雜化太陽能電池的制備過程中,通常是首先在n型硅片的上表面制備硅納米線陣列,接著對該n型硅片進行甲基化處理,然后在該n型硅片的正面旋涂P3HT溶液或者Spiro-OMeTAD溶液,并通過退火處理而形成P3HT層或者Spiro-OMeTAD層,接著在P3HT層或者Spiro-OMeTAD層的表面旋涂PEDOT:PSS溶液,并進行退火處理而形成PEDOT:PSS層,接著在n型硅片的正面制備正面柵電極并在其背面制備背面電極,現有的有機無機雜化太陽能電池的光電轉換效率較低,且由于P3HT層、Spiro-OMeTAD層以及PEDOT:PSS層等有機材料層形成于所述硅納米線陣列上,當n型硅片的面積增加時,導致有機材料層的成膜質量變差,進一步導致該有機無機雜化太陽能電池的光電轉換效率降低。
發明內容
本發明的目的是克服上述現有技術的不足,提供一種太陽能電池及其制備方法。
為實現上述目的,本發明提出的一種太陽能電池的制備方法,包括以下步驟:
1)提供N型單晶硅片,對所述N型單晶硅片進行制絨處理,在所述N型單晶硅片的上表面形成金字塔結構絨面層;
2)在所述N型單晶硅片的上表面沉積N型非晶硅層,然后通過熱處理使得N型非晶硅層晶轉化為N型多晶硅層,其中N型多晶硅層的摻雜濃度小于所述N型單晶硅片的摻雜濃度;
3)在所述N型多晶硅層的表面沉積無機絕緣薄層,所述無機絕緣薄層的厚度為1-2納米;
4)在步驟3得到的所述N型單晶硅片的上表面旋涂含有Cu9S5納米晶和Spiro-OMeTAD的第一氯苯溶液,其中,第一氯苯溶液中Spiro-OMeTAD的濃度為10-15mg/ml,Cu9S5納米晶的濃度為0.05-0.15mg/ml,旋涂的轉速為4000-5000轉/分鐘,然后進行第一退火處理,形成第一Spiro-OMeTAD層;
5)在步驟4得到的所述N型單晶硅片的上表面旋涂含有Cu9S5納米晶和Spiro-OMeTAD的第二氯苯溶液,其中,第二氯苯溶液中Spiro-OMeTAD的濃度為10-15mg/ml,Cu9S5納米晶的濃度為0.2-0.3mg/ml,旋涂的轉速為3000-4000轉/分鐘,然后進行第二退火處理,形成第二Spiro-OMeTAD層;
6)在步驟5得到的所述N型單晶硅片的上表面旋涂含有銀納米線的第一PEDOT:PSS溶液,所述第一PEDOT:PSS溶液中銀納米線的濃度為0.1-0.2mg/ml,旋涂的轉速為4500-5500轉/分鐘,然后進行第三退火處理,形成第一PEDOT:PSS層;
7)在步驟6得到的所述N型單晶硅片的上表面旋涂含有銀納米線的第二PEDOT:PSS溶液,所述第二PEDOT:PSS溶液中銀納米線的濃度為0.3-0.5mg/ml,旋涂的轉速為2500-3500轉/分鐘,然后進行第四退火處理,形成第二PEDOT:PSS層;
8)在所述步驟7得到的所述N型單晶硅片的上表面制備正面銀柵電極;
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L51-00 使用有機材料作有源部分或使用有機材料與其他材料的組合作有源部分的固態器件;專門適用于制造或處理這些器件或其部件的工藝方法或設備
H01L51-05 .專門適用于整流、放大、振蕩或切換且并具有至少一個電位躍變勢壘或表面勢壘的;具有至少一個電位躍變勢壘或表面勢壘的電容器或電阻器
H01L51-42 .專門適用于感應紅外線輻射、光、較短波長的電磁輻射或微粒輻射;專門適用于將這些輻射能轉換為電能,或者適用于通過這樣的輻射進行電能的控制
H01L51-50 .專門適用于光發射的,如有機發光二極管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料選擇





