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[發明專利]一種高效透氧的ITO靶材擺放-燒結方法在審

專利信息
申請號: 201810653336.6 申請日: 2018-06-22
公開(公告)號: CN108530055A 公開(公告)日: 2018-09-14
發明(設計)人: 余永強;馬立云;那嘉;周傳水;向光;王友樂;張玲莉;柯尚文;李雋;康明鋒;范家偉;董永亮 申請(專利權)人: 廣東凱盛光伏技術研究院有限公司
主分類號: C04B35/457 分類號: C04B35/457;C04B35/64
代理公司: 廣州嘉權專利商標事務所有限公司 44205 代理人: 左恒峰
地址: 528137 廣東省*** 國省代碼: 廣東;44
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摘要:
搜索關鍵詞: 燒結 墊片 承燒板 靶材 瓷球 擺放 燒結爐 透氧率 底面 磨削 成型 打磨 消耗 污染
【說明書】:

發明公開了一種高效透氧的ITO靶材擺放?燒結方法,步驟如下:1)將ITO粉末成型,得到ITO靶坯,再對ITO靶坯進行干燥;2)將墊片放置在承燒板上,再在墊片上放置一層直徑0.5~1mm的瓷球,再將ITO靶坯放置在瓷球上;3)將步驟2)設置好ITO靶坯的承燒板放進燒結爐進行燒結,再進行打磨,得到ITO靶材。本發明可以大大提高ITO靶坯燒結時的透氧率,增加了ITO靶材燒結后的密度,提高了ITO靶材的質量,且燒結后ITO靶材底面不會產生墊片印,不會污染靶材,減少了后加工過程中因磨削而造成的靶材消耗。

技術領域

本發明涉及一種高效透氧的ITO靶材擺放-燒結方法。

背景技術

ITO靶材是一種由氧化銦粉末和氧化錫粉末經過成型、燒結而成的黑灰色陶瓷半導體,是生產ITO薄膜的重要原料。經過多年的發展,目前ITO靶材的制備工藝已經比較成熟,方法多種多樣,但是仍然存在燒結不夠充分、加工時間長、生產工藝復雜、生產效率低等問題,ITO靶材的密度還有很大的提升空間。

傳統的工藝在進行ITO靶材燒結時,ITO靶材的擺放主要分為以下兩種方法:1)直接擺放法:將靶坯直接放置在承燒板上,然后一起放進燒結爐中進行燒結,由于靶坯與承燒板相接觸的部位幾乎不透氧,會導致靶坯燒結不充分,靶材成型效果差,該方法已逐漸被淘汰;2)墊片法:先在靶坯下方墊上墊片,再放置在承燒板上,再一起放進燒結爐中進行燒結,該方法可以在一定程度上提高靶材燒結時的透氧率,但靶材燒結后與墊片相接觸的部位會留下大面積的墊片印,靶材的底層受到污染,后續打磨操作的磨削量大,不僅增加了工藝難度和工藝成本,而且還會對靶材質量造成一定影響。

發明內容

本發明的目的在于提供一種高效透氧的ITO靶材擺放-燒結方法。

本發明所采取的技術方案是:

一種高效透氧的ITO靶材擺放-燒結方法,步驟如下:

1)將ITO粉末成型,得到ITO靶坯,再對ITO靶坯進行干燥;

2)將墊片放置在承燒板上,再在墊片上放置一層直徑0.5~1mm的瓷球,再將ITO靶坯放置在瓷球上;

3)將步驟2)設置好ITO靶坯的承燒板放進燒結爐進行燒結,再進行表面打磨,得到ITO靶材。

步驟1)所述干燥的溫度為100~500℃,干燥時間為50~100h。

步驟2)所述瓷球為耐1800℃以上高溫的瓷球。

步驟2)所述瓷球為氧化鋯球。

步驟2)所述瓷球均勻分布在墊片上。

步驟2)所述墊片的材質為剛玉-莫來石、硅酸鈣中的一種。

步驟3)所述燒結的溫度為1000~1700℃,燒結時間為20~40h。

本發明的有益效果是:本發明可以大大提高ITO靶坯燒結時的透氧率,增加了ITO靶材燒結后的密度,提高了ITO靶材的質量,且燒結后ITO靶材底面不會產生墊片印,不會污染靶材,減少了后加工過程中因磨削而造成的靶材消耗。

1)本發明在ITO靶坯下面設置一層瓷球后再進行燒結,避免了ITO靶坯和墊片直接接觸,且ITO靶坯和瓷球之間的接觸面積小,提高了ITO靶坯燒結時的透氧率,燒結效果更好;

2)本發明在ITO靶坯下面設置一層瓷球后再進行燒結,瓷球耐高溫性能優異,燒結時不會與ITO靶材發生反應,因此不會對ITO靶材造成污染;

3)本發明在ITO靶坯下面設置一層瓷球后再進行燒結,有利于燒結過程中ITO靶坯內殘余應力的釋放,可以有效避免ITO靶材出現結構缺陷。

附圖說明

圖1為本發明的ITO靶坯的擺放示意圖。

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