[發(fā)明專利]一種高效透氧的ITO靶材擺放-燒結方法在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201810653336.6 | 申請日： | 2018-06-22 |
| 公開（公告）號： | CN108530055A | 公開（公告）日： | 2018-09-14 |
| 發(fā)明（設計）人： | 余永強;馬立云;那嘉;周傳水;向光;王友樂;張玲莉;柯尚文;李雋;康明鋒;范家偉;董永亮 | 申請（專利權）人： | 廣東凱盛光伏技術研究院有限公司 |
| 主分類號： | C04B35/457 | 分類號： | C04B35/457;C04B35/64 |
| 代理公司： | 廣州嘉權專利商標事務所有限公司 44205 | 代理人： | 左恒峰 |
| 地址： | 528137 廣東省*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 燒結 墊片 承燒板 靶材 瓷球 擺放 燒結爐 透氧率 底面 磨削 成型 打磨 消耗 污染 | ||
【權利要求書】：
1.一種高效透氧的ITO靶材擺放-燒結方法，其特征在于：步驟如下：
1)將ITO粉末成型，得到ITO靶坯，再對ITO靶坯進行干燥；
2)將墊片放置在承燒板上，再在墊片上放置一層直徑0.5～1mm的瓷球，再將ITO靶坯放置在瓷球上；
3)將步驟2)設置好ITO靶坯的承燒板放進燒結爐進行燒結，再進行表面打磨，得到ITO靶材。
2.根據權利要求1所述的高效透氧的ITO靶材擺放-燒結方法，其特征在于：步驟1)所述干燥的溫度為100～500℃，干燥時間為50～100h。
3.根據權利要求1所述的高效透氧的ITO靶材擺放-燒結方法，其特征在于：步驟2)所述瓷球為耐1800℃以上高溫的瓷球。
4.根據權利要求3所述的高效透氧的ITO靶材擺放-燒結方法，其特征在于：步驟2)所述瓷球為氧化鋯球。
5.根據權利要求1～4中任意一項所述的高效透氧的ITO靶材擺放-燒結方法，其特征在于：步驟2)所述瓷球均勻分布在墊片上。
6.根據權利要求1～4中任意一項所述的高效透氧的ITO靶材擺放-燒結方法，其特征在于：步驟2)所述墊片的材質為剛玉-莫來石、硅酸鈣中的一種。
7.根據權利要求1～4中任意一項所述的高效透氧的ITO靶材擺放-燒結方法，其特征在于：
步驟3)所述燒結的溫度為1000～1700℃，燒結時間為20～40h。
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