[發明專利]液體分配設備及其檢驗方法

在審

• 申請號: 201810652110.4
• 申請日: 2018-06-22
• 公開（公告）號: CN109109461A
• 公開（公告）日: 2019-01-01
• 發明（設計）人: 黃凈珉;尹軫鉉;張宰榮;薛捧浩;千歲勛
• 申請（專利權）人: 燦美工程股份有限公司
• 主分類號: B41J2/01
• 分類號: B41J2/01;H05K3/22
• 代理公司: 北京同立鈞成知識產權代理有限公司 11205
• 代理人: 楊貝貝;臧建明

1.一種液體分配設備，其特征在于，包括：

載物臺，在所述載物臺上安裝基板；

板，其具有連接到所述載物臺或安置在所述載物臺外部的至少一部分；

分配部分，其具有至少一部分以可移動方式安裝在所述載物臺和所述板之間，以便分配液體材料；

成像部分，其配置成使所述液體材料分配到的部分成像；以及

測量部分，其配置成根據通過所述成像部分成像的所述板上的所述液體材料的圖像測量所述液體材料的大小。

2.根據權利要求1所述的液體分配設備，其特征在于，在所述板的一個表面上顯示多個測量單元，且所述分配部分配置成將所述液體材料分配到所述測量單元中。

3.根據權利要求2所述的液體分配設備，其特征在于，所述測量部分包括：

處理器，其配置成對所述板上的所述液體材料的所述圖像進行預處理；以及

測量儀器，其配置成將所述測量單元的內部分成多個像素，并測量所述液體材料在所述測量單元中占據的像素數目。

4.根據權利要求3所述的液體分配設備，其特征在于，進一步包括控制單元，所述控制單元連接到所述測量部分且配置成控制所述分配部分的操作。

5.根據權利要求4所述的液體分配設備，其特征在于，所述控制單元包括：

比較器，其配置成比較所述測量儀器所測量的像素數目與預設設定范圍；以及

控制器，其配置成當所測量的像素數目不在所述設定范圍內時增加或減少所述分配部分所分配的所述液體材料的數量。

6.根據權利要求5所述的液體分配設備，其特征在于，

所述分配部分包括噴嘴，所述噴嘴配置成通過使用壓力和電壓中的至少任一個來分配所述液體材料，以及

所述控制器調整施加到所述噴嘴的所述壓力和所述電壓中的至少任一個的強度。

7.根據權利要求1到6中任一項所述的液體分配設備，其特征在于，包括修復設備，所述修復設備配置成修復所述基板上的圖案缺陷。

8.一種用于檢驗液體分配設備的方法，其中檢驗設置在所述液體分配設備中的分配部分的狀態，其特征在于，所述方法包括：

提供載物臺和板；

通過使用所述分配部分將液體材料分配到所述板上；

產生所述板上被所述液體材料分配到其上的區域的圖像；以及

測量所述圖像中所述液體材料的大小。

9.根據權利要求8所述的用于檢驗液體分配設備的方法，其特征在于，所述通過使用所述分配部分將所述液體材料分配到所述板上包括將所述液體材料分配到在所述板的一個表面上顯示的多個測量單元當中的至少任一個測量單元中。

10.根據權利要求9所述的用于檢驗液體分配設備的方法，其特征在于，所述測量所述圖像上所述液體材料的大小包括將每一測量單元分成多個像素并測量所述液體材料在所述測量單元中占據的區域中的像素數目。

11.根據權利要求10所述的用于檢驗液體分配設備的方法，其特征在于，包括在測量所述液體材料在所述測量單元中占據的所述區域中的像素數目之后，

比較所測量的像素數目與預設設定范圍；以及

調整將從所述分配部分分配到安裝在所述載物臺上的基板上的所述液體材料的數量。

12.根據權利要求11所述的用于檢驗液體分配設備的方法，其特征在于，所述調整通過使用所述分配部分分配的液體材料的數量包括調整施加到所述分配部分的噴嘴的壓力和電壓中的至少任一個的強度。