[發明專利]一種獨立式晶圓檢選機進料機構及檢選機

在審

• 申請號: 201810650285.1
• 申請日: 2018-06-22
• 公開（公告）號: CN108584285A
• 公開（公告）日: 2018-09-28
• 發明（設計）人: 張喬棟;袁泉;陳業;朱威莉
• 申請（專利權）人: 江蘇納沛斯半導體有限公司
• 主分類號: B65G15/24
• 分類號: B65G15/24;B65G15/58;B65G47/44
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本發明公開了一種獨立式晶圓檢選機進料機構及檢選機，包括連接機構與限位機構，所述連接機構包括送料機，所述送料機一端通過卡合方式設有滑板，所述滑板朝向送料機的一端設有卡塊，且所述送料機側面設有與卡塊相適配的固定槽，所述滑板表面兩側設有擋板b，所述擋板b底部相對于卡塊側面通過螺栓連接設有緊固螺栓；通過在送料機一端設有滑板，通過伸縮板的伸縮效果，便于送料機與不同規格的檢選機進行連接，避免了因送料機與檢選機的規格不符，導致晶圓在運送的過程中掉落，有效的為使用者降低成本，并且提高了送料機的工作效率，通過在送料機頂部設有限位輸送帶，利用限位槽對晶圓的限位效果，有效的提高了晶圓在運送過程中的穩定性。

技術領域

本發明屬于輸送機技術領域，具體涉及一種獨立式晶圓檢選機進料機構及檢選機。

背景技術

輸送機的歷史悠久，中國古代的高轉筒車和提水的翻車，是現代斗式提升機和刮板輸送機的雛形。帶式輸送機是當前散狀物料輸送的主要方式。現代化的輸送機系統對防塵具有更高的要求，為此，在各轉接處設有灑水集塵的裝置，在膠帶輸送機沿線會設有防風罩或擋風板，系統是由單機組成的，對在整機系統中工作的操作和修理者來說，既要立足于自己分管的單機，又要了解系統間的相互聯系，單機又是由許多部件組成的，只有做好各個部件的日常維護保養，使其處于良好的工作狀態，才能確保設備的安全運行，現有的晶圓檢選機輸送機可輸送八英寸晶圓與十二英寸晶圓。

然而現有的晶圓檢選機進料機構在使用的過程中仍存在一些不足之處，現有的晶圓檢選機進料機構在使用時：

1.現有的圓晶檢選機進料機構在使用的過程中，對于不同規格的圓晶檢選機，不便于送料機構平穩的將圓晶輸送到圓晶檢選機合適的位置，在輸送的過程中可能使得圓晶散落，甚至因墜落導致圓晶質量受損，不僅影響送料機構的工作效率，還增加了使用負擔。

2.現有的圓晶檢選機進料機構在使用的過程中，因為晶圓為圓狀物體且規格較小，使得晶圓在運送的過程中會產生位移，并堆積在一起，使得晶圓檢選機在進行檢選工作時較為麻煩，降低了晶圓檢選機的工作效率。

發明內容

本發明的目的在于提供一種獨立式晶圓檢選機進料機構及檢選機，以解決上述背景技術中提出現有的圓晶檢選機進料機構在使用的過程中，對于不同規格的圓晶檢選機，不便于送料機構平穩的將圓晶輸送到圓晶檢選機合適的位置，在輸送的過程中可能使得圓晶散落，甚至因墜落導致圓晶質量受損，不僅影響送料機構的工作效率，還增加了使用負擔，現有的圓晶檢選機進料機構在使用的過程中，因為晶圓為圓狀物體且規格較小，使得晶圓在運送的過程中會產生位移，并堆積在一起，使得晶圓檢選機在進行檢選工作時較為麻煩，降低了晶圓檢選機的工作效率的問題。

為實現上述目的，本發明提供如下技術方案：一種獨立式晶圓檢選機進料機構及檢選機，包括連接機構與限位機構，所述連接機構包括送料機，所述送料機一端通過卡合方式設有滑板，所述滑板朝向送料機的一端設有卡塊，且所述送料機側面設有與卡塊相適配的固定槽，所述滑板表面兩側設有擋板b，所述擋板b底部相對于卡塊側面通過螺栓連接設有緊固螺栓，所述滑板背離卡塊的一端設有連接板，所述連接板一端相對于滑板內部設有伸縮板，所述送料機頂部兩側邊緣處設有擋板a，所述送料機一側外部通過螺栓固定有電動機箱，所述送料機底部四角設有送料機支架，所述連接板一側設有檢選機，且所述連接板底部相對于檢選機一側設有工作臺，所述工作臺一側相對于檢選機表面設有按鈕。

優選的，所述限位機構包括限位輸送帶，所述限位輸送帶內部通過螺栓連接設有若干個橡膠帶，且所述限位輸送帶有若干個橡膠帶組合而成，所述橡膠帶表面設有一體式結構的限位槽，所述橡膠帶之間設有連接片，所述連接片表面設有一體式結構的螺栓孔。

優選的，所述伸縮板的外壁與滑板的內壁相接，所述緊固螺栓共兩個，處于滑板的兩側，位置相互對應，且所述緊固螺栓可通過順時針旋轉擠壓伸縮板側面。

優選的，所述限位輸送帶由二十個橡膠帶連接而成，且所述橡膠帶之間為無縫連接。