[發明專利]一種獨立式晶圓檢選機進料機構及檢選機

在審

• 申請號: 201810650285.1
• 申請日: 2018-06-22
• 公開（公告）號: CN108584285A
• 公開（公告）日: 2018-09-28
• 發明（設計）人: 張喬棟;袁泉;陳業;朱威莉
• 申請（專利權）人: 江蘇納沛斯半導體有限公司
• 主分類號: B65G15/24
• 分類號: B65G15/24;B65G15/58;B65G47/44
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種獨立式晶圓檢選機進料機構及檢選機，包括連接機構與限位機構，其特征在于：所述連接機構包括送料機（18），所述送料機（18）一端通過卡合方式設有滑板（4），所述滑板（4）朝向送料機（18）的一端設有卡塊（12），且所述送料機（18）側面設有與卡塊（12）相適配的固定槽，所述滑板（4）表面兩側設有擋板b（10），所述擋板b（10）底部相對于卡塊（12）側面通過螺栓連接設有緊固螺栓（13），所述滑板（4）背離卡塊（12）的一端設有連接板（11），所述連接板（11）一端相對于滑板（4）內部設有伸縮板（9），所述送料機（18）頂部兩側邊緣處設有擋板a（7），所述送料機（18）一側外部通過螺栓固定有電動機箱（6），所述送料機（18）底部四角設有送料機支架（8），所述連接板（11）一側設有檢選機（1），且所述連接板（11）底部相對于檢選機（1）一側設有工作臺（3），所述工作臺（3）一側相對于檢選機（1）表面設有按鈕（2）。

2.根據權利要求1所述的一種獨立式晶圓檢選機進料機構及檢選機，其特征在于：所述限位機構包括限位輸送帶（5），所述限位輸送帶（5）內部通過螺栓連接設有若干個橡膠帶（16），且所述限位輸送帶（5）有若干個橡膠帶（16）組合而成，所述橡膠帶（16）表面設有一體式結構的限位槽（14），所述橡膠帶（16）之間設有連接片（15），所述連接片（15）表面設有一體式結構的螺栓孔（17）。

3.根據權利要求1所述的一種獨立式晶圓檢選機進料機構及檢選機，其特征在于：所述伸縮板（9）的外壁與滑板（4）的內壁相接，所述緊固螺栓（13）共兩個，處于滑板（4）的兩側，位置相互對應，且所述緊固螺栓（13）可通過順時針旋轉擠壓伸縮板（9）側面。

4.根據權利要求2所述的一種獨立式晶圓檢選機進料機構及檢選機，其特征在于：所述限位輸送帶（5）由二十個橡膠帶（16）連接而成，且所述橡膠帶（16）之間為無縫連接。

5.根據權利要求4所述的一種獨立式晶圓檢選機進料機構及檢選機，其特征在于：所述限位槽（14）的橫截面為直徑十三英寸的圓形結構，且所述限位槽（14）以三厘米等距離排列在橡膠帶（16）表面。