[發明專利]蝕刻組合物和使用該蝕刻組合物的布線的形成方法有效

申請號：	201810637712.2	申請日：	2018-06-20
公開（公告）號：	CN109112543B	公開（公告）日：	2022-06-28
發明（設計）人：	樸種熙;金真錫;李鳳源;金相佑;樸一龍;元鳳淵;李大雨	申請（專利權）人：	三星顯示有限公司;株式會社東進世美肯
主分類號：	C23F1/30	分類號：	C23F1/30;H01L27/12
代理公司：	北京銘碩知識產權代理有限公司 11286	代理人：	王慧敏;程月
地址：	韓國京畿***	國省代碼：	暫無信息
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摘要：
搜索關鍵詞：	蝕刻組合使用布線形成方法
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【說明書】：

一種無磷酸蝕刻組合物和一種形成布線的方法，所述組合物包括：大約40wt％至大約60wt％的有機酸化合物；大約6wt％至大約12wt％的二醇化合物；大約1wt％至大約10wt％的硝酸、硫酸或鹽酸；大約1wt％至大約10wt％的硝酸鹽化合物；以及水，所有的wt％是基于無磷酸蝕刻組合物的總重量。

于2017年6月22日在韓國知識產權局提交的標題為“Etchant Composition andForming Method of Wiring using Etchant Composition(蝕刻組合物和使用該蝕刻組合物的布線的形成方法)”的第10-2017-0079346號韓國專利申請通過引用全部包含于此。

技術領域

實施例涉及蝕刻組合物和使用該蝕刻組合物的布線的形成方法。

背景技術

平板顯示裝置因為其可制成質輕且薄而已經備受矚目。平板顯示裝置包括諸如液晶顯示裝置和有機發光顯示裝置等的各種顯示裝置。平板顯示裝置可以包括以矩陣形式布置的像素。平板顯示裝置可以包括包含用于驅動像素的各種元件的薄膜晶體管陣列基底。

發明內容

實施例涉及蝕刻組合物和使用該蝕刻組合物的布線的形成方法。

實施例可以通過提供無磷酸蝕刻組合物來實現，所述無磷酸蝕刻組合物包括：大約40wt％至大約60wt％的有機酸化合物；大約6wt％至大約12wt％的二醇化合物；大約1wt％至大約10wt％的硝酸、硫酸或鹽酸；大約1wt％至大約10wt％的硝酸鹽化合物；以及水，所有的wt％是基于無磷酸蝕刻組合物的總重量。

蝕刻組合物還可以包括大約1wt％至大約5wt％的螯合物。

有機酸化合物可以包括至少三種不同的有機酸。

有機酸化合物可以包括乙酸(CH₃CO₂H)、蘋果酸(C₄H₆O₅)、檸檬酸(C₆H₈O₇)、酒石酸(C₄H₆O₆)、乳酸(C₃H₆O₃)、甲基磺酸(CH₄O₃S)、甲酸(CH₂O₂)、琥珀酸(C₄H₆O₄)或富馬酸(C₄H₄O₄)。

二醇化合物可以包括由化學式1表示的化合物。

[化學式1]

其中，在化學式1中，Y₁和Y₂中的每個為H或-OH，Y₁和Y₂中的至少一個為-OH，X為C₁-C₂₀基團，C₁-C₂₀基團以這樣的方式包括-CR₂-、-C≡C-、-CF₂O-、-CR＝CR-、-CO-、-O-、-CO-O-、-O-CO-或-O-CO-O-：氧原子彼此不直接連接，R為-H、鹵素或-OH，m為1至20的自然數。