[發明專利]制作OLED顯示面板的方法有效
| 申請號： | 201810631391.5 | 申請日： | 2018-06-19 |
| 公開（公告）號： | CN108539060B | 公開（公告）日： | 2020-10-27 |
| 發明（設計）人： | 袁朝煜;王超梁 | 申請（專利權）人： | 武漢華星光電半導體顯示技術有限公司 |
| 主分類號： | H01L51/56 | 分類號： | H01L51/56;H01L51/00 |
| 代理公司： | 深圳翼盛智成知識產權事務所(普通合伙) 44300 | 代理人： | 黃威 |
| 地址： | 430079 湖北省武漢市東湖新技術*** | 國省代碼： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 制作 oled 顯示 面板 方法 | ||
1.一種制作OLED顯示面板的方法，其特征在于，包括以下步驟：
提供一支撐底板；
在所述支撐底板上形成一襯底層；
在所述襯底層上形成一緩沖層；
在所述緩沖層上形成一柔性聚合物層；
在所述柔性聚合物層上形成一OLED陣列層；及
使用一激光來加熱所述支撐底板以分解所述緩沖層，從而使所述襯底層與所述柔性聚合物層分離，其中所述使用激光來加熱所述支撐底板以分解所述緩沖層的步驟是在處于負壓狀態的腔室中執行；
其中在使用所述激光來加熱所述支撐底板以分解所述緩沖層之前，在一預加熱溫度下預加熱所述支撐底板，以降低所述激光的能量密度和提高激光剝離效率。
2.根據權利要求1所述的制作OLED顯示面板的方法，其特征在于，所述支撐底板為一玻璃底板。
3.根據權利要求1所述的制作OLED顯示面板的方法，其特征在于，所述襯底層的材質為氧化鎂、氧化鋅或碳化硅。
4.根據權利要求1所述的制作OLED顯示面板的方法，其特征在于，所述緩沖層的材質為氮化鎵。
5.根據權利要求1所述的制作OLED顯示面板的方法，其特征在于，所述柔性聚合物層的材質為聚酰亞胺。
6.根據權利要求1所述的制作OLED顯示面板的方法，其特征在于，所述預加熱溫度為50-80℃。
7.根據權利要求1所述的制作OLED顯示面板的方法，其特征在于，所述激光為一紫外線激光。
8.根據權利要求7所述的制作OLED顯示面板的方法，其特征在于，所述紫外線激光具有245奈米的波長與190-240毫焦耳/平方厘米的能量密度。
9.根據權利要求1所述的制作OLED顯示面板的方法，其特征在于，所述方法更包括以下步驟：
在所述OLED陣列層上形成一四氟乙烯層；及
在所述四氟乙烯層上形成一阻障層。
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H01L 半導體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L51-00 使用有機材料作有源部分或使用有機材料與其他材料的組合作有源部分的固態器件；專門適用于制造或處理這些器件或其部件的工藝方法或設備
H01L51-05 .專門適用于整流、放大、振蕩或切換且并具有至少一個電位躍變勢壘或表面勢壘的；具有至少一個電位躍變勢壘或表面勢壘的電容器或電阻器
H01L51-42 .專門適用于感應紅外線輻射、光、較短波長的電磁輻射或微粒輻射；專門適用于將這些輻射能轉換為電能，或者適用于通過這樣的輻射進行電能的控制
H01L51-50 .專門適用于光發射的，如有機發光二極管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料選擇
