[發(fā)明專利]制作OLED顯示面板的方法

有效

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• 申請日: 2018-06-19
• 公開（公告）號: CN108539060B
• 公開（公告）日: 2020-10-27
• 發(fā)明（設計）人: 袁朝煜;王超梁
• 申請（專利權）人: 武漢華星光電半導體顯示技術有限公司
• 主分類號: H01L51/56
• 分類號: H01L51/56;H01L51/00
• 代理公司: 深圳翼盛智成知識產(chǎn)權事務所(普通合伙) 44300
• 代理人: 黃威

本發(fā)明提供一種制作OLED顯示面板的方法。所述方法包括以下步驟：提供一支撐底板；在所述支撐底板上形成一襯底層；在所述襯底層上形成一緩沖層；在所述緩沖層上形成一柔性聚合物層；在所述柔性聚合物層上形成一OLED陣列層；及使用一激光來加熱所述支撐底板以分解所述緩沖層，從而使所述襯底層與所述柔性聚合物層分離。

【技術領域】

本發(fā)明涉及有機發(fā)光二極管面板領域，特別涉及一種制作 OLED顯示面板的方法。

【背景技術】

在平板顯示技術中，有機發(fā)光二極管(Organic Light-Emitting Diode，OLED)顯示器具有輕薄、主動發(fā)光、響應速度快、可視角大、色域寬、亮度高和功耗低等眾多優(yōu)點，逐漸成為新一代的顯示技術。

在OLED顯示面板的制造工藝中，激光剝離(laser lift-off，LLO)是通過利用激光使玻璃底板與柔性聚酰亞胺(polyimide，PI) 層分離的步驟，其中激光會破壞玻璃與聚酰亞胺層之間的氫鍵作用力以實現(xiàn)玻璃與聚酰亞胺層之間的有效分離。然而，如果激光的能量過低，聚酰亞胺層與玻璃無法有效分離，尤其在分離過程中會造成發(fā)光層的脫層(peeling)，導致產(chǎn)品品質失效。另一方面，如果激光的能量過高，聚酰亞胺層會大量吸熱，且通過熱傳導作用會間接地破壞聚酰亞胺層表面的OLED陣列層，導致產(chǎn)品不良。故，根據(jù)現(xiàn)有技術，激光的能量過高或過低都會導致低劣的 OLED顯示面板品質。

因此，有必要提供一種制作OLED顯示面板的方法，以解決現(xiàn)有技術所存在的問題。

【發(fā)明內容】

本發(fā)明的目的在于提供一種制作OLED顯示面板的方法，以解決現(xiàn)有技術的激光剝離技術所導致的低劣的OLED顯示面板品質的技術問題。

為解決上述技術問題，本發(fā)明提供一種制作OLED顯示面板的方法，其特征在于，包括以下步驟：

提供一支撐底板；

在所述支撐底板上形成一襯底層；

在所述襯底層上形成一緩沖層；

在所述緩沖層上形成一柔性聚合物層；

在所述柔性聚合物層上形成一OLED陣列層；及

使用一激光來加熱所述支撐底板以分解所述緩沖層，從而使所述襯底層與所述柔性聚合物層分離。

根據(jù)本發(fā)明一優(yōu)選實施例，所述支撐底板為一玻璃底板。

根據(jù)本發(fā)明一優(yōu)選實施例，所述襯底層的材質為氧化鎂、氧化鋅或碳化硅。

根據(jù)本發(fā)明一優(yōu)選實施例，所述緩沖層的材質為氮化鎵。

根據(jù)本發(fā)明一優(yōu)選實施例，所述柔性聚合物層的材質為聚酰亞胺。

根據(jù)本發(fā)明一優(yōu)選實施例，在使用激光來加熱所述支撐底板以分解所述緩沖層之前，所述方法更包括以下步驟：

在一預加熱溫度下預加熱所述支撐底板，所述預加熱溫度為50-80℃。

根據(jù)本發(fā)明一優(yōu)選實施例，使用所述激光來加熱所述支撐底板以分解所述緩沖層的步驟是在一腔室中執(zhí)行，所述腔室處于一負壓狀態(tài)。

根據(jù)本發(fā)明一優(yōu)選實施例，所述激光為一紫外線激光。

根據(jù)本發(fā)明一優(yōu)選實施例，所述紫外線激光具有245奈米的波長與190-240毫焦耳/平方厘米的能量密度。

根據(jù)本發(fā)明一優(yōu)選實施例，所述方法更包括以下步驟：

在所述OLED陣列層上形成一四氟乙烯層；及

在所述四氟乙烯層上形成一阻障層。