[發明專利]圖像獲取設備和圖像獲取方法

在審

• 申請號: 201810627339.2
• 申請日: 2018-06-14
• 公開（公告）號: CN109085172A
• 公開（公告）日: 2018-12-25
• 發明（設計）人: 橋口英則;松田英樹
• 申請（專利權）人: 佳能株式會社
• 主分類號: G01N21/88
• 分類號: G01N21/88;G01B11/30
• 代理公司: 北京怡豐知識產權代理有限公司 11293
• 代理人: 遲軍;李艷麗

1.一種圖像獲取設備，其包括：

構件，其具有按第一方向延伸并且不透射至少一部分入射光的多個非透射部，所述多個非透射部按與所述第一方向交叉的第二方向以周期P的間隔布設；

第一照射單元；

攝像單元，其被構造為經由所述構件對第一照射單元照射的被檢物的區域攝像；

驅動單元，其被構造為在攝像單元對第一照射單元照射的被檢物攝像并獲取圖像的曝光期間，使所述構件和被檢物的相對位置按第二方向偏移。

2.根據權利要求1所述的圖像獲取設備，

其中，第一照射單元經由所述構件利用條紋光照射被檢物，并且

其中，在用于獲取一個圖像的曝光期間，所述構件與被檢物通過驅動單元按第二方向的相對偏移量是周期P的一半的整數倍。

3.根據權利要求1所述的圖像獲取設備，

其中，第一照射單元經由所述構件利用條紋光照射被檢物，并且

其中，在用于獲取一個圖像的曝光期間，所述構件與被檢物通過驅動單元按第二方向的相對偏移量是周期P的一半的5倍或更多倍。

4.根據權利要求1所述的圖像獲取設備，其中，由于所述構件的存在，在第一照射單元照射期間，攝像單元拍攝圖像所需的曝光時間內的相對位置偏移的距離是，要在圖像上生成的對比圖案的循環期的整數倍。

5.根據權利要求1所述的圖像獲取設備，其中，第一照射單元被布設在所述構件與攝像單元之間。

6.根據權利要求1所述的圖像獲取設備，其中，第一照射單元被布設在所述構件的被檢物側的空間中。

7.根據權利要求1所述的圖像獲取設備，所述圖像獲取設備還包括圖像處理單元，所述圖像處理單元被構造為通過對在第一照射單元照射期間由攝像單元拍攝的圖像進行處理，生成包括關于被檢物的表面的信息的處理圖像。

8.根據權利要求1所述的圖像獲取設備，

其中，所述構件對第二照射單元進行構造，所述第二照射單元被構造為將條紋光投射到被檢物，

其中，圖像獲取設備還包括：

圖像處理單元，其被構造為通過對在第二照射單元照射期間由攝像單元拍攝的多個N個圖像進行處理，生成包括關于被檢物的表面的信息的處理圖像，并且

其中，在第二照射單元照射期間，當所述構件和被檢物通過驅動單元按第二方向相對地偏移了偏移量ΔX_i(i＝1,2,…N)時，攝像單元通過經由所述構件對被檢物攝像而獲取N個圖像，偏移量ΔX_i(i＝1,2,…N)彼此不同，并且所有偏移量ΔX_i(i＝1,2,…N)與周期P的整數倍的量不同。

9.根據權利要求8所述的圖像獲取設備，其中，圖像處理單元使用關于在N個圖像上生成的條紋圖案的頻率分量的強度變化的信息，從N個圖像中生成處理圖像，所述N個圖像在第二照射單元照射期間通過攝像單元拍攝，相位在所述N個圖像之間偏移。

10.根據權利要求9所述的圖像獲取設備，其中，圖像處理單元從關于強度變化的信息中獲取強度變化的頻率分量的振幅、相位和相位差中的至少一者，以生成振幅圖像、相位圖像和相位差圖像中的至少一者，作為處理圖像。

11.根據權利要求8所述的圖像獲取設備，其中，第二照射單元包括所述構件和被布設在包圍所述構件的區域內的光源。

12.根據權利要求8所述的圖像獲取設備，

其中，第二照射單元包括所述構件、半反射鏡和光源，并且

其中，從光源發射的一部分光，被半反射鏡反射并且在通過非透射部之間之后照射被檢物，來自被檢物的一部分光通過非透射部之間并且被攝像單元接收并攝像。