[發明專利]一種擴散爐管的保養方法

有效

• 申請號: 201810622901.2
• 申請日: 2018-06-15
• 公開（公告）號: CN108728901B
• 公開（公告）日: 2021-01-22
• 發明（設計）人: 袁華斌;符亮;張凱勝;姚偉忠;孫鐵囤
• 申請（專利權）人: 常州億晶光電科技有限公司
• 主分類號: C30B31/10
• 分類號: C30B31/10;C30B31/16
• 代理公司: 常州市英諾創信專利代理事務所(普通合伙) 32258
• 代理人: 鄭云

本發明涉及一種擴散爐管的保養方法，包括：步驟一：擴散爐開機后對擴散爐內部進行梯度升溫；步驟二：擴散爐關機前對擴散爐內部進行梯度降溫；通過關閉爐門，將高溫爐管與低溫的車間隔開，防止濕氣進入爐管，從源頭阻隔磷酸的產生，減少腐蝕與堵塞，延長爐管使用壽命；通過增加采用梯度降溫與梯度升溫的方式減少爐門與爐管的變形，延長爐門與爐管的使用壽命；通過負壓通氣的方法升溫降溫，是為了將爐管內的氣態雜志去除干凈，保證爐管的氣體清潔，防止污染。

技術領域

本發明涉及太陽能電池片擴散技術領域，尤其是涉及一種擴散路管的保養方法。

背景技術

擴散工序是太陽能電池車間的核心工序，將硅片放置在爐管內進行高溫通源擴散，其原理是通過氮氣攜帶磷源進入爐管內，并在高溫下與氧氣反應生成五氧化二磷，五氧化二磷再沉積到硅片表面形成磷單質，最后通過高溫將表面磷擴散至內部形成PN結。

通常擴散爐管有故障需要停機降溫或者不生產需要停機降溫時，產線一般是直接將爐門打開，進行自然降溫，開機時也是設定700℃左右溫度直接升溫。

在自然降溫過程中，由于爐門敞開，空氣中的水蒸氣容易在爐管內、通氣管內與磷單質形成磷酸，磷酸具有較強的腐蝕性與黏性，極易腐蝕爐管與堵塞氣管，造成漏氣、堵氣等氣壓不良，同時造成爐管浪費。

與此同時，由于自然降溫，降溫速度存在一個由塊變慢的過程，并且爐門處的不同材質器件連接較多，熱膨脹速率各不相同，快速的降溫與升溫極易導致彼此間收縮膨脹不一致，而變形導致損壞器件與爐管，且爐門變形后，在關閉爐門過程中會有撞碎爐門的情況。

發明內容

本發明要解決的技術問題是：為了克服現有技術中擴散路管在快速升溫和自然降溫時容易變形損壞的問題，提供一種擴散爐管的保養方法。

本發明解決其技術問題所采用的技術方案是：一種擴散爐管的保養方法，包括：

步驟一：擴散爐開機后對擴散爐內部進行梯度升溫；

步驟二：擴散爐關機前對擴散爐內部進行梯度降溫。

進一步的，所述步驟一包括：

步驟1-1：爐門保持關閉狀態，爐內壓力控制在10±0.2Kpa負壓狀態，向爐內通入2±0.05L/min的氮氣，通入的氮氣可以去除爐內的磷酸分子，避免磷酸分子液化留積腐蝕爐管，從而保護了爐管；

步驟1-2：將擴散爐內部升溫至400℃，升溫速率為2℃/min~8℃/min，升溫后恒溫5min；

步驟1-3：將擴散爐內部升溫至600℃，升溫速率為2℃/min~8℃/min，升溫后恒溫5min；

步驟1-4：將擴散爐內部升溫至800℃，升溫速率為2℃/min~8℃/min，升溫后保持恒溫狀態；

步驟1-5：向爐內充入氮氣，使爐內氣壓在100Kpa。

進一步的，所述步驟二包括：

步驟2-1：爐門保持關閉狀態，爐內壓力控制在10±0.2Kpa負壓狀態，向爐內通入2±0.05L/min的氮氣，通入的氮氣可以去除爐內的磷酸分子，避免磷酸分子液化留積腐蝕爐管，從而保護了爐管；

步驟2-2：將擴散爐內部降溫至600℃±10℃，降溫速率為7℃/min~13℃/min，降溫后恒溫5min；

步驟2-3：將擴散爐內部降溫至400℃±10℃，降溫速率為7℃/min~13℃/min，降溫后恒溫5min；

步驟2-4：將擴散爐內部降溫至200℃±10℃，降溫速率為7℃/min~13℃/min，降溫后恒溫5min；