[發明專利]一種擴散爐管的保養方法有效
| 申請號： | 201810622901.2 | 申請日： | 2018-06-15 |
| 公開（公告）號： | CN108728901B | 公開（公告）日： | 2021-01-22 |
| 發明（設計）人： | 袁華斌;符亮;張凱勝;姚偉忠;孫鐵囤 | 申請（專利權）人： | 常州億晶光電科技有限公司 |
| 主分類號： | C30B31/10 | 分類號： | C30B31/10;C30B31/16 |
| 代理公司： | 常州市英諾創信專利代理事務所(普通合伙) 32258 | 代理人： | 鄭云 |
| 地址： | 213000 江蘇*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 擴散 爐管 保養 方法 | ||
1.一種擴散爐管的保養方法，其特征在于：包括：
步驟一：擴散爐開機后對擴散爐內部進行梯度升溫；
步驟二：擴散爐關機前對擴散爐內部進行梯度降溫；
所述步驟一包括：
步驟1-1： 爐門保持關閉狀態，爐內壓力控制在10±0.2Kpa負壓狀態，向爐內通入2±0.05L/min的氮氣；
步驟1-2：將擴散爐內部升溫至400℃，升溫速率為2℃/min~8℃/min，升溫后恒溫5min；
步驟1-3：將擴散爐內部升溫至600℃，升溫速率為2℃/min~8℃/min，升溫后恒溫5min；
步驟1-4：將擴散爐內部升溫至800℃，升溫速率為2℃/min~8℃/min，升溫后保持恒溫狀態；
步驟1-5：向爐內充入氮氣，使爐內氣壓在100Kpa；
所述步驟二包括：
步驟2-1： 爐門保持關閉狀態，爐內壓力控制在10±0.2Kpa負壓狀態，向爐內通入2±0.05L/min的氮氣；
步驟2-2：將擴散爐內部降溫至600℃±10℃，降溫速率為7℃/min~13℃/min，降溫后恒溫5min；
步驟2-3：將擴散爐內部降溫至400℃±10℃，降溫速率為7℃/min~13℃/min，降溫后恒溫5min；
步驟2-4：將擴散爐內部降溫至200℃±10℃，降溫速率為7℃/min~13℃/min，降溫后恒溫5min；
步驟2-5：將擴散爐內部降溫至30℃±10℃，降溫速率為7℃/min~13℃/min，降溫后恒溫5min；
步驟2-6：向爐內充入氮氣，使爐內氣壓在100Kpa。
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