[發(fā)明專利]一種保護(hù)探頭的掃描電鏡試樣臺

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201810616807.6
• 申請日: 2018-06-15
• 公開（公告）號: CN108896595B
• 公開（公告）日: 2020-11-17
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 劉洪喜;張璐璐;張曉偉;石海;郝軒弘
• 申請（專利權(quán)）人: 昆明理工大學(xué)
• 主分類號: G01N23/2204
• 分類號: G01N23/2204;G01N23/2251
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本發(fā)明公開一種保護(hù)探頭的掃描電鏡試樣臺，包括試樣臺緩沖裝置和試樣臺底座，試樣臺底座連接電鏡的載物轉(zhuǎn)臺，一個以上的試樣臺緩沖裝置設(shè)置在試樣臺底座上；試樣臺緩沖裝置包括法蘭、試樣爪基座、試樣爪、彈簧、套筒、試樣爪緊固件，當(dāng)由于人工操作失誤使得試樣與探頭發(fā)生碰撞，試樣臺緩沖裝置會起到緩沖的作用，彈簧會吸收在發(fā)生碰撞時的大部分碰撞能量，轉(zhuǎn)換為彈簧的彈性勢能，從而避免了出現(xiàn)剛性碰撞而導(dǎo)致探頭直接損壞。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種保護(hù)探頭的掃描電鏡試樣臺，屬于精密儀器領(lǐng)域。

背景技術(shù)

掃描電鏡即掃描電子顯微鏡是一種電子光學(xué)顯像儀器，采用極細(xì)窄的電子束來掃描試樣，通過電子束與試樣相互作用，產(chǎn)生各種信號，這些信號被相應(yīng)的檢測器接受，經(jīng)放大器放大后送到顯像管成像，具有制樣簡單、放大倍數(shù)可調(diào)范圍寬、圖像分辨率高、景深大的特點，現(xiàn)已在材料、冶金、生物等領(lǐng)域有了廣泛的應(yīng)用。

試樣臺是掃描電鏡中的一個重要組件，用來承載試樣，當(dāng)觀察試樣時，試樣臺運動將試樣送到安全檢測位置，但是對于要求高倍數(shù)拍攝，為了提高掃描圖片的質(zhì)量，需要試樣與探頭無限接近，試樣的觀測位置會超出安全檢測位置，很容易由于人工失誤導(dǎo)致探頭與試樣直接接觸，從而使探頭出現(xiàn)損壞。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的是克服已有技術(shù)的不足，提供一種保護(hù)探頭掃描電鏡試樣臺，旨在解決掃描試樣需要高倍拍攝時，在試樣和探頭無限接近過程中探頭與試樣發(fā)生剛性碰撞，從而損壞探頭的問題。

一種保護(hù)探頭的掃描電鏡試樣臺，包括試樣臺緩沖裝置和試樣臺底座1，試樣臺底座1連接掃描電鏡的載物轉(zhuǎn)臺，一個以上的試樣臺緩沖裝置設(shè)置在試樣臺底座1上，可以根據(jù)試樣的數(shù)目選擇試樣臺緩沖裝置的數(shù)量；

試樣臺緩沖裝置包括法蘭2、試樣爪基座3、試樣爪、彈簧5、套筒6、試樣爪緊固件8，法蘭2設(shè)置在試樣臺底座1上，套筒6設(shè)置在法蘭2上，彈簧5設(shè)置在套筒6外部，彈簧5的底部設(shè)置在法蘭2上，試樣爪基座3的側(cè)視圖為T字型結(jié)構(gòu)，試樣爪基座3與彈簧5的頂部接觸即試樣爪基座3的T字型結(jié)構(gòu)的上部位于彈簧5頂部并相互接觸，T字型結(jié)構(gòu)的底部懸空設(shè)置在套筒6內(nèi)，T字型結(jié)構(gòu)的頂部開有環(huán)形凹槽，試樣爪設(shè)置在T字型結(jié)構(gòu)的環(huán)形凹槽內(nèi)，試樣爪緊固件8設(shè)置在試樣爪基座3上并將試樣爪固定。

所述試樣爪基座3的T字型結(jié)構(gòu)的頂部中間還開有螺紋孔，試樣爪緊固件8上設(shè)有外螺紋，外螺紋與試樣爪基座3的T字型結(jié)構(gòu)的頂部中間螺紋孔內(nèi)的螺紋相配合并將試樣爪固定。

所述保護(hù)探頭的掃描電鏡試樣臺還包括驅(qū)動電機、控制器、壓力傳感器7，壓力傳感器7位于試樣爪基座3與彈簧5之間，并與試樣爪基座3的上部和彈簧5的頂部接觸，驅(qū)動電機與掃描電鏡的載物轉(zhuǎn)臺連接，壓力傳感器7和驅(qū)動電機分別與控制器連接。

所述試樣爪由三個以上的夾持片4構(gòu)成，夾持片4包括彈性片、矩形塊，彈性片為7字型結(jié)構(gòu)，彈性片的7字型結(jié)構(gòu)的底部設(shè)置在矩形塊上，矩形塊活動設(shè)置在試樣爪基座3的T字型結(jié)構(gòu)頂部的環(huán)形凹槽內(nèi)，彈性片在回復(fù)力的作用下，可以實現(xiàn)對不同輪廓試樣的夾持。

所述法蘭2通過螺栓設(shè)置在試樣臺底座1上。

所述控制器為市購常規(guī)控制器，型號為Arduino UNO R3型控制器等，能夠?qū)崿F(xiàn)采集壓力傳感器7數(shù)據(jù)并控制驅(qū)動電機運行即可。