[發明專利]一種保護探頭的掃描電鏡試樣臺

有效

• 申請號: 201810616807.6
• 申請日: 2018-06-15
• 公開（公告）號: CN108896595B
• 公開（公告）日: 2020-11-17
• 發明（設計）人: 劉洪喜;張璐璐;張曉偉;石海;郝軒弘
• 申請（專利權）人: 昆明理工大學
• 主分類號: G01N23/2204
• 分類號: G01N23/2204;G01N23/2251
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種保護探頭的掃描電鏡試樣臺，其特征在于，包括試樣臺緩沖裝置和試樣臺底座（1），試樣臺底座（1）連接掃描電鏡的載物轉臺，一個以上的試樣臺緩沖裝置設置在試樣臺底座（1）上，試樣臺緩沖裝置包括法蘭（2）、試樣爪基座（3）、試樣爪、彈簧（5）、套筒（6）、試樣爪緊固件（8），法蘭（2）設置在試樣臺底座（1）上，套筒（6）設置在法蘭（2）上，彈簧（5）設置在套筒（6）外部，彈簧（5）的底部設置在法蘭（2）上，試樣爪基座（3）的側視圖為T字型結構，T字型結構的上部位于彈簧（5）頂部，T字型結構的底部懸空設置在套筒（6）內， T字型結構的頂部開有環形凹槽，試樣爪設置在環形凹槽內，試樣爪緊固件（8）設置在試樣爪基座（3）上并將試樣爪固定；

試樣臺還包括驅動電機、控制器、壓力傳感器（7），壓力傳感器（7）位于試樣爪基座（3）與彈簧（5）之間，并與試樣爪基座（3）底部和彈簧（5）的頂部接觸，驅動電機與掃描電鏡的載物轉臺連接，壓力傳感器（7）和驅動電機分別與控制器連接。

2.根據權利要求1所述保護探頭的掃描電鏡試樣臺，其特征在于，所述試樣爪基座（3）的T字型結構的頂部中間還開有螺紋孔，試樣爪緊固件（8）上設有外螺紋，外螺紋與試樣爪基座（3）的T字型結構的頂部中間螺紋孔內的螺紋相配合并將試樣爪固定。

3.根據權利要求1所述保護探頭的掃描電鏡試樣臺，其特征在于，所述試樣爪由三個以上的夾持片（4）構成，夾持片（4）包括彈性片、矩形塊，彈性片為7字型結構，彈性片7字型結構的底部設置在矩形塊上，矩形塊活動設置在試樣爪基座（3）的T字型結構頂部的環形凹槽內。

4.根據權利要求1所述保護探頭的掃描電鏡試樣臺，其特征在于，所述法蘭（2）通過螺栓設置在試樣臺底座（1）上。