[發明專利]掩膜板框架組件和掩膜板模組

有效

• 申請號: 201810612835.0
• 申請日: 2018-06-14
• 公開（公告）號: CN108823527B
• 公開（公告）日: 2020-05-08
• 發明（設計）人: 張健;黃俊杰;王震;李冬偉;趙蓉
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司;鄂爾多斯市源盛光電有限責任公司
• 主分類號: C23C14/04
• 分類號: C23C14/04;C23C14/24;H01L51/56
• 代理公司: 北京天昊聯合知識產權代理有限公司 11112
• 代理人: 姜春咸;陳源

本發明提供一種用于蒸鍍的掩膜板框架組件，所述掩膜板框架組件包括框架和開口掩膜板，所述開口掩膜板包括掩膜板本體和設置在所述掩膜板本體邊緣處的多個固定條，所述框架包括框架本體，其中，所述開口掩膜板與所述框架層疊設置，且所述掩膜板本體的一部分與所述框架本體重疊，所述固定條位于所述框架本體上。本發明還提供一種掩膜板模組。所述掩膜板模組中的圖像化掩膜板結構穩定，不容易產生變形。

技術領域

本發明涉及微電子加工設備領域，具體地，涉及一種掩膜板框架組件和一種掩膜板模組。

背景技術

在制造有機發光二極管顯示面板時，通常會用到掩膜板組件。作為一種常用的實施方式，掩膜板組件包括依次層疊框架(Frame)、開口掩膜板(Open mask)和圖形化掩膜板。

所述開口掩膜板上設置有固定條，所述開口掩膜板通過所述固定條焊接在框架上，所述圖形化掩膜板通過焊接的方式與所述開口掩膜板的固定條固定連接。但是，在這種掩膜板組件中，所述圖形化掩膜板容易發生變形，并產生褶皺，進而導致利用該掩膜板組件制成的有機發光二極管顯示面板產生不良。

因此，如何提高防止掩膜板組件中的圖形化掩膜板發生變形成為本領域亟待解決的技術問題。

發明內容

本發明的目的在于提供一種掩膜板框架組件和一種掩膜板模組，所述掩膜板模組上的圖形化掩膜板不容易產生變形。

為了實現上述目的，作為本發明的一個方面，提供一種用于蒸鍍的掩膜板框架組件，所述掩膜板框架組件包括框架和開口掩膜板，所述開口掩膜板包括掩膜板本體和設置在所述掩膜板本體邊緣處的多個固定條，所述框架包括框架本體，其中，所述開口掩膜板與所述框架層疊設置，且所述掩膜板本體的一部分與所述框架本體重疊，所述固定條位于所述框架本體上。

優選地，所述框架包括形成在所述框架本體上的主開口，所述框架本體上還設置有容納槽，所述容納槽包括第一容納槽和多個第二容納槽，所述第一容納槽位于所述框架本體的內邊緣處，且與所述主開口相通，所述掩膜板本體上與所述框架本體重疊的部分設置在所述容納槽中，多個所述第二容納槽與多個所述固定條一一對應，所述第二容納槽的一端開口與所述第一容納槽相通，所述第二容納槽的另一端開口形成在所述框架本體的外側表面上，所述固定條設置在所述第二容納槽中。

優選地，所述掩膜板本體的上表面與所述框架本體上未設置所述容納槽的部分的上表面平齊。

優選地，所開口掩膜板通過點焊的方式固定在所述框架本體上，且點焊形成的焊點位于所述第一容納槽的邊緣處以及所述第二容納槽的邊緣處。

優選地，所述掩膜板本體上與所述框架本體重疊的部分的寬度不小于兩個焊點的寬度之和。

優選地，所述開口掩膜板滿足以下條件中的一者：

所述開口掩膜板的厚度為0.03mm，所述焊點的寬度為0.5mm；

所述開口掩膜板的厚度為0.15mm，所述焊點的寬度為0.8mm；

所述開口掩膜板的寬度為0.1mm，所述焊點的寬度為0.6mm。

優選地，多個所述面板開口排列為多行多列，相鄰兩行所述面板開口之間的部分相對應的位置處設置有所述固定條，且相鄰兩列所述面板開口之間的部分對應的位置處設置有所述固定條。

優選地，所述開口掩膜板的厚度為0.1mm，每個所述固定條的寬度均不小于1.5mm。

優選地，所述開口掩膜板的厚度為0.15mm，每個所述固定條的寬度均不小于1mm。