[發明專利]圖像處理裝置、圖像處理方法和存儲介質

在審

• 申請號: 201810607069.9
• 申請日: 2018-06-13
• 公開（公告）號: CN109085171A
• 公開（公告）日: 2018-12-25
• 發明（設計）人: 植村卓典
• 申請（專利權）人: 佳能株式會社
• 主分類號: G01N21/88
• 分類號: G01N21/88;G06T7/00
• 代理公司: 北京怡豐知識產權代理有限公司 11293
• 代理人: 遲軍;李艷麗

本發明涉及圖像處理裝置、圖像處理方法和存儲介質。該圖像處理裝置包括：照明單元，被構造為使用如下構件將條紋光投影到被檢體上，在所述構件中，在第二方向上以周期P布置有不透射至少一部分入射光的多個非透射部；攝像單元，被構造為通過所述構件對投影了條紋光的被檢體進行攝像；圖像處理單元，被構造為處理N個圖像以生成處理圖像；以及驅動單元，被構造為使構件和被檢體相對移位。每當通過驅動單元將構件和被檢體相對移位變化量ΔX_i(i＝1，2，...N)時，攝像單元進行攝像。

技術領域

本公開的示例性實施例涉及一種圖像處理裝置、方法和存儲介質，該圖像處理裝置用于獲取并處理被檢體的圖像，諸如用于獲取具有光澤表面的被檢體的圖像并且光學評估被檢體的光學評估裝置。

背景技術

作為用于檢測存在于作為光澤被檢體的工件的表面上的缺陷的技術，已知如下技術，其中，使用用于以周期性條紋圖案發光的光源向工件照射光，并且通過照相機對由工件反射的光進行攝像。在日本特開2014-002125號公報中描述的檢查方法中，用具有周期性變化的輝度的光來照射工件，計算攝像的反射光圖像的這種輝度變化的振幅及其平均值等，并且根據這些值檢測工件的缺陷。在日本特開2000-018932號公報中描述的檢查方法中，通過轉變照明工件的光的明暗圖案來對多個圖像進行攝像，計算各個像素中的評估量(諸如最大值或最小值)，在像素之間比較評估量，由此檢查微小缺陷。

發明內容

根據本公開的實施例的圖像處理裝置包括：照明單元，其被構造為，使用如下構件將條紋光投影到被檢體上，在所述構件中，在第二方向上以周期P間隔布置有不透射至少一部分入射光的多個非透射部，其中，各個非透射部在第二方向上的長度短于該非透射部在與第二方向交叉的第一方向上的長度；攝像單元，其被構造為，對由照明單元投影了條紋光的所述被檢體的圖像進行攝像；圖像處理單元，其被構造為，對由攝像單元攝像的N個圖像進行處理，以生成包括與所述被檢體的表面有關的信息的處理圖像；以及驅動單元，其被構造為，使所述構件和所述被檢體在第二方向上相對移位，其中，所述攝像單元被設置成通過所述構件對所述被檢體進行攝像，并且其中，每當通過所述驅動單元將所述構件和所述被檢體在第二方向上相對移位彼此不同的、除周期P的整數倍之外的變化量ΔX_i時，所述攝像單元進行攝像，并且獲取N個圖像，其中i＝1，2，...N。

根據以下參照附圖對示例性實施例的描述，本公開的其他特征將變得清楚。

附圖說明

圖1是例示根據本公開的一個方面的裝置的示例的示意圖。

圖2是用于說明照明單元的圖。

圖3是用于說明根據第一示例性實施例的照明單元的橫截面圖。

圖4是用于說明圖像上的條紋圖案的圖。

圖5是例示用于檢查工件表面上的缺陷的方法的流程圖。

圖6是用于說明透射部和非透射部之間的寬度比與噪聲之間的關系的曲線圖。

圖7是用于說明用于減小噪聲分量的方法的曲線圖。

圖8A、圖8B和圖8C是用于說明具有曲面的工件的優選布置的圖。

圖9是用于說明根據第二示例性實施例的照明單元的圖。

具體實施方式

在日本特開2014-002125號公報和日本特開2000-018932號公報中描述的檢查方法中，液晶設備(LCD)或附裝有線形圖案形式的膜的表面發光光源，被用作用于將條紋圖案投影到工件上的光源。這些光源中的各個都不透射光，因此在反射性光澤工件的情況下，需要將光源和照相機設置在從工件看的不同方向上。這是因為，在光源與照相機設置在同一軸上的情況下，從光源發射的光被照相機遮擋，或由工件反射的光被光源遮擋，并且光幾乎無法到達照相機。