[發明專利]圖像處理裝置、圖像處理方法和存儲介質

在審

• 申請號: 201810607069.9
• 申請日: 2018-06-13
• 公開（公告）號: CN109085171A
• 公開（公告）日: 2018-12-25
• 發明（設計）人: 植村卓典
• 申請（專利權）人: 佳能株式會社
• 主分類號: G01N21/88
• 分類號: G01N21/88;G06T7/00
• 代理公司: 北京怡豐知識產權代理有限公司 11293
• 代理人: 遲軍;李艷麗

1.一種圖像處理裝置，所述圖像處理裝置包括：

照明單元，其被構造為，使用如下構件將條紋光投影到被檢體上，在所述構件中，在第二方向上以周期P間隔布置有不透射至少一部分入射光的多個非透射部，其中，各個非透射部在第二方向上的長度短于該非透射部在與第二方向交叉的第一方向上的長度；

攝像單元，其被構造為，對由照明單元投影了條紋光的所述被檢體的圖像進行攝像；

圖像處理單元，其被構造為，對由攝像單元攝像的N個圖像進行處理，以生成包括與所述被檢體的表面有關的信息的處理圖像；以及

驅動單元，其被構造為，使所述構件和所述被檢體在第二方向上相對移位，

其中，所述攝像單元被設置成通過所述構件對所述被檢體進行攝像，并且

其中，每當通過所述驅動單元將所述構件和所述被檢體在第二方向上相對移位彼此不同的、除周期P的整數倍之外的變化量ΔX_i時，所述攝像單元進行攝像，并且獲取N個圖像，其中i＝1，2，...N。

2.根據權利要求1所述的圖像處理裝置，其中，所述圖像處理單元使用與相位偏移4πΔX_i/P弧度的頻率分量的強度變化有關的信息，根據所述N個圖像生成處理圖像。

3.根據權利要求2所述的圖像處理裝置，其中，所述圖像處理單元從與強度變化有關的信息中獲取所述頻率分量的振幅、相位和相位差中的至少一者，并且生成振幅圖像、相位圖像和相位差圖像中的至少一者作為處理圖像。

4.根據權利要求1所述的圖像處理裝置，其中，所述攝像單元的焦點位置被設置為距所述被檢體的表面的距離在±D/2以內的位置，其中，D是所述被檢體的表面與所述構件之間的距離。

5.根據權利要求4所述的圖像處理裝置，其中，所述攝像單元包括非遠心光學系統。

6.根據權利要求1所述的圖像處理裝置，其中，所述攝像單元的物側數值孔徑NA和所述被檢體與所述構件之間的距離D滿足以下表達式：

D×tan(asin(NA))/P≥0.35。

7.根據權利要求1所述的圖像處理裝置，其中，非透射部的寬度與所述周期P的比為大于或等于33％、且小于或等于67％。

8.根據權利要求1所述的圖像處理裝置，其中，所述攝像單元包括物側遠心光學系統。

9.根據權利要求1所述的圖像處理裝置，其中，所述照明單元包括所述構件和設置在所述構件周圍的區域中的光源。

10.根據權利要求1所述的圖像處理裝置，

其中，所述照明單元包括所述構件、半反射鏡和光源，并且

其中，從所述光源發射的光的一部分被所述半反射鏡反射，在非透射部之間穿過，并且以條紋照明所述被檢體，并且由所述被檢體反射和散射的光的一部分穿過非透射部并由攝像單元攝像。

11.根據權利要求1所述的圖像處理裝置，

其中，所述被檢體的表面至少部分具有曲面，并且

其中，在所述被檢體被設置為使得第二方向平行于所述曲面的曲率半徑大的方向的狀態下，所述攝像單元對所述N個圖像進行攝像。

12.根據權利要求1所述的圖像處理裝置，其中，所述圖像處理單元基于所述處理圖像來檢測所述被檢體的表面上的缺陷。

13.根據權利要求1所述的圖像處理裝置，其中，N≥3。