[發明專利]用于有機發光二極管顯示器的制造設備

在審

• 申請號: 201810605898.3
• 申請日: 2018-06-13
• 公開（公告）號: CN109326730A
• 公開（公告）日: 2019-02-12
• 發明（設計）人: 李嘉宸;施國興;嚴進嶸
• 申請（專利權）人: 上海自旭光電科技有限公司
• 主分類號: H01L51/50
• 分類號: H01L51/50;H01L51/52;H01L51/56;H01L27/32
• 代理公司: 北京國昊天誠知識產權代理有限公司 11315
• 代理人: 李有財

本發明公開了一種用于有機發光二極管顯示器的制造設備，有機發光二極管顯示器通過蒸鍍制程及黃光微影制程形成，其包括蒸鍍流水線及黃光微影流水線，蒸鍍流水線包括多個第一傳輸裝置、多個線狀蒸鍍裝置、多個第一點狀蒸鍍裝置、至少一個第一電漿清潔裝置，多個線狀蒸鍍裝置、多個第一點狀蒸鍍裝置及至少一個第一電漿清潔裝置分別連接對應的第一傳輸裝置；黃光微影流水線至少包括多個第二傳輸裝置、光阻涂布裝置、曝光裝置、顯影裝置及濕式剝膜裝置，光阻涂布裝置、曝光裝置、顯影裝置及濕式剝膜裝置分別連接對應的第二傳輸裝置。本發明的設備整合蒸鍍流水線及黃光微影流水線，以提升制造效率，本發明的制造設備能制造一般有機發光二極管顯示器。

技術領域

本發明涉及顯示器領域，尤其涉及一種用于有機發光二極管顯示器的制造設備。

背景技術

目前有機發光二極管顯示器包括玻璃基板、陽極層、空穴傳輸層、紅色有機發光層、綠色有機發光層、藍色有機發光層、電子傳輸層及陰極層。陽極層、空穴傳輸層、紅色有機發光層、綠色有機發光層、藍色有機發光層、電子傳輸層及陰極層均通過蒸鍍方式形成，尤其有機發光二極管顯示器的畫素結構通過金屬掩模進行有機物蒸鍍方式來達到高精細化。

現在為了提升有機發光二極管的畫質、解析度及精細度，改良有機發光二極管顯示器的畫素結構的圖案化方式，因此研發出一種通過黃光微影制程進行圖案化，所以目前用于制造有機發光二極管顯示器的制造設備已經不適用。

發明內容

本發明實施例提供一種用于有機發光二極管顯示器的制造設備，以解決目前有機發光二極管顯示器的制造設備無法用于制造由蒸鍍制程及黃光微影制程形成的有機發光二極管顯示器的問題。

為了解決上述技術問題，本發明是這樣實現的：

提供了一種用于有機發光二極管顯示器的制造設備，有機發光二極管顯示器通過蒸鍍制程及黃光微影制程形成，其包括蒸鍍流水線及黃光微影流水線，蒸鍍流水線包括多個第一傳輸裝置、多個線狀蒸鍍裝置、多個第一點狀蒸鍍裝置、至少一個第一電漿清潔裝置，多個線狀蒸鍍裝置、多個第一點狀蒸鍍裝置及至少一個第一電漿清潔裝置分別連接對應的第一傳輸裝置；黃光微影流水線至少包括多個第二傳輸裝置、光阻涂布裝置、曝光裝置、顯影裝置及濕式剝膜裝置，光阻涂布裝置、曝光裝置、顯影裝置及濕式剝膜裝置分別連接對應的第二傳輸裝置。

在本發明實施例中，整合蒸鍍流水線及黃光微影流水線制造由蒸鍍制程及黃光微影制程形成的有機發光二極管顯示器，有效提升制造效率，同時提升有機發光二極管顯示器的畫質、解析度及精細度。

本發明所采用的具體技術，將通過以下的實施例及附呈圖式作進一步的說明。

附圖說明

此處所說明的附圖用來提供對本發明的進一步理解，構成本發明的一部分，本發明的示意性實施例及其說明用于解釋本發明，并不構成對本發明的不當限定。在附圖中：

圖1是本發明第一實施例的制造設備的示意圖。

圖2是本發明第一實施例的有機發光二極管顯示器的示意圖。

圖3是本發明第二實施例的蒸鍍流水線的示意圖。

圖4是本發明第三實施例的蒸鍍流水線的示意圖。

圖5是本發明第四實施例的黃光微影流水線的示意圖。

圖6是本發明第五實施例的黃光微影流水線的示意圖。

圖7是本發明第六實施例的黃光微影流水線的示意圖。

圖8是本發明第七實施例的黃光微影流水線的示意圖。

圖9是本發明第八實施例的黃光微影流水線的示意圖。

圖10是本發明第九實施例的黃光微影流水線的示意圖。