[發明專利]用于有機發光二極管顯示器的制造設備

在審

• 申請號: 201810605898.3
• 申請日: 2018-06-13
• 公開（公告）號: CN109326730A
• 公開（公告）日: 2019-02-12
• 發明（設計）人: 李嘉宸;施國興;嚴進嶸
• 申請（專利權）人: 上海自旭光電科技有限公司
• 主分類號: H01L51/50
• 分類號: H01L51/50;H01L51/52;H01L51/56;H01L27/32
• 代理公司: 北京國昊天誠知識產權代理有限公司 11315
• 代理人: 李有財

1.一種用于有機發光二極管顯示器的制造設備，所述有機發光二極管顯示器通過蒸鍍制程及黃光微影制程形成，其特征在于，所述制造設備包括:蒸鍍流水線，其包括多個第一傳輸裝置、多個線狀蒸鍍裝置、多個第一點狀蒸鍍裝置、至少一個第一電漿清潔裝置，多個所述線狀蒸鍍裝置、多個所述第一點狀蒸鍍裝置及至少一個所述第一電漿清潔裝置分別連接對應的所述第一傳輸裝置；以及

黃光微影流水線，其包括多個第二傳輸裝置、光阻涂布裝置、曝光裝置、顯影裝置及濕式剝膜裝置，所述光阻涂布裝置、所述曝光裝置、所述顯影裝置及所述濕式剝膜裝置分別連接對應的所述第二傳輸裝置。

2.如權利要求1所述的用于有機發光二極管顯示器的制造設備，其特征在于，所述第一傳輸裝置及所述第二傳輸裝置內分別具有機械手臂。

3.如權利要求1所述的用于有機發光二極管顯示器的制造設備，其特征在于，所述蒸鍍流水線分成第一蒸鍍群組及第二蒸鍍群組，所述第一蒸鍍群組包括所述第一傳輸裝置、連接所述第一傳輸裝置的二個所述線狀蒸鍍裝置及所述第一電漿清潔裝置，所述第二蒸鍍群組包括所述第一傳輸裝置、連接所述第一傳輸裝置的二個所述線狀蒸鍍裝置及至少一個第一點狀蒸鍍裝置。

4.如權利要求3所述的用于有機發光二極管顯示器的制造設備，其特征在于，所述第二蒸鍍群組還包括連接所述第一傳輸裝置的第一電漿清潔裝置。

5.如權利要求3或4所述的用于有機發光二極管顯示器的制造設備，其特征在于，所述第一蒸鍍群組的所述第一傳輸裝置與所述第二蒸鍍群組的所述第一傳輸裝置通過第一連接腔連接。

6.如權利要求3或4所述的用于有機發光二極管顯示器的制造設備，其特征在于，所述第二蒸鍍群組的數量為多個，相鄰的二個所述第二蒸鍍群組的所述第一傳輸裝置通過第一連接腔連接。

7.如權利要求3或4所述的用于有機發光二極管顯示器的制造設備，其特征在于，所述第二蒸鍍群組還包括第一轉接腔，所述第一轉接腔連接所述第一傳輸裝置。

8.如權利要求3或4所述的用于有機發光二極管顯示器的制造設備，其特征在于，所述蒸鍍流水線還包括第三蒸鍍群組，所述第三蒸鍍群組包括所述第一傳輸裝置、連接所述第一傳輸裝置的所述線狀蒸鍍裝置及二個所述第一點狀蒸鍍裝置。

9.如權利要求8所述的用于有機發光二極管顯示器的制造設備，其特征在于，所述第二蒸鍍群組的所述第一傳輸裝置與所述第三蒸鍍群組的所述第一傳輸裝置通過第一連接腔連接。

10.如權利要求1所述的用于有機發光二極管顯示器的制造設備，其特征在于，所述黃光微影流水線分成第一微影群組及第二微影群組，所述第一微影群組包括所述第二傳輸裝置、連接所述第二傳輸裝置的所述光阻涂布裝置、所述曝光裝置及所述顯影裝置；所述第二微影群組包括所述第二傳輸裝置、連接所述第二傳輸裝置的所述濕式剝膜裝置。

11.如權利要求10所述的用于有機發光二極管顯示器的制造設備，其特征在于，所述第一微影群組及所述第二微影群組還分別包括第二轉接腔，所述第二轉接腔連接所述第二傳輸裝置。

12.如權利要求10所述的用于有機發光二極管顯示器的制造設備，其特征在于，所述第二微影群組還分別包括第二轉接腔、第三傳輸裝置及第二電漿清潔裝置，所述第二轉接腔連接所述第二傳輸裝置，所述第三傳輸裝置連接所述第二轉接腔，所述第二電漿清潔裝置連接所述第三傳輸裝置。

13.如權利要求12所述的用于有機發光二極管顯示器的制造設備，其特征在于，所述第三傳輸裝置內分別具有機械手臂。