[發明專利]一種單晶硅棒轉運系統

在審

• 申請號: 201810603643.3
• 申請日: 2018-06-12
• 公開（公告）號: CN108974940A
• 公開（公告）日: 2018-12-11
• 發明（設計）人: 董洪濤;劉智;韓志純;賈哲;古海軍;蔣春輝
• 申請（專利權）人: 山東大海新能源發展有限公司
• 主分類號: B65G49/05
• 分類號: B65G49/05
• 代理公司: 濟南千慧專利事務所(普通合伙企業) 37232
• 代理人: 吳紹群

本申請公開了一種單晶硅棒轉運系統，屬于單晶硅片加工技術領域，其包括：承托單元，所述承托單元至少用于承托一根所述單晶硅棒；起吊單元，所述起吊單元用于將所述承托單元由第一位置吊送至第二位置；以及夾持輸送單元，所述夾持輸送單元用于夾持所述承托單元內的單晶硅棒并將其輸送至第三位置。本申請實現了對單晶硅棒的自動輸送，節省了人工成本和勞動強度。

技術領域

本申請屬于硅片加工技術領域，尤其涉及一種單晶硅棒轉運系統。

背景技術

單晶硅是一種比較活潑的非金屬元素，是晶體材料的重要組成部分，處于新材料發展的前沿。其主要用途是用作半導體材料和利用太陽能光伏發電、供熱等。由于太陽能具有清潔、環保、方便等諸多優勢，近幾十年來，太陽能利用技術在研究開發、商業化生產、市場開拓等方面均獲得了長足發展，成為世界快速、穩定發展的新興產業之一。

單晶硅可以用于二極管級、整流器件級、電路級以及太陽能電池級單晶產品的生產和深加工制造，其后續產品集成電路和半導體分離器件已廣泛應用于各個領域，在軍事電子設備中也粘有重要地位。

在光伏技術和微小型半導體逆變器技術飛速發展的今天，利用單晶硅所生產的太陽能電池可以直接把太陽能轉化為光能，實現了邁向綠色能源革命的開始。

單晶硅片的制作工藝一般要經歷鑄錠、切方、小方棒加工、粘膠、切片、脫膠、硅片加工、插片清洗和熱處理等步驟，即在單晶硅棒加工完成后，首先需將單晶硅棒送至粘膠機進行粘膠后才能放入切片機進行切片。單晶硅棒非常昂貴，很重且脆，易于在外力作用下崩邊。

然而，現有技術中大多采用人力將單晶硅棒搬運至粘膠機進行粘膠，一般而言，500mm長度的單晶硅棒重量就達40.16kg，人工搬運的方式不僅加大了操作人員的勞動強度，而且搬運過程中容易造成單晶硅棒的崩邊，從而降低了良率，增加了損失。

由此可見，現有技術有待于進一步的改進和提高。

發明內容

本申請為避免上述現有技術存在的不足之處，提供了一種單晶硅棒轉運系統，以降低人工強度，減少搬運過程中的崩邊。

本申請所采用的技術方案為：

一種單晶硅棒轉運系統，包括：承托單元，所述承托單元至少用于承托一根所述單晶硅棒；起吊單元，所述起吊單元用于將所述承托單元由第一位置吊送至第二位置；以及夾持輸送單元，所述夾持輸送單元用于夾持所述承托單元內的單晶硅棒并將其輸送至第三位置。

所述承托單元包括箱體，所述箱體的頂端敞口，且所述箱體內至少設置有一個托具，所述托具呈倒置的梯形槽狀；所述箱體的頂端兩側均設置有吊耳，所述吊耳用于實現與所述起吊單元的連接。

所述托具可拆卸地安裝在所述箱體的底板上。

所述托具的內側壁上設有第一柔性保護墊。

所述起吊單元包括：吊鉤，所述吊鉤用于實現與所述承托單元的連接；吊鉤升降驅動機構，所述吊鉤升降驅動機構用于帶動所述吊鉤升降；以及吊鉤水平移位驅動機構，所述吊鉤水平移位機構用于帶動所述吊鉤的水平移位，并與所述吊鉤升降驅動機構一起帶動所述吊鉤在第一位置和第二位置之間往復移動。

所述夾持輸送單元被配置為，能夠夾持不同尺寸的單晶硅棒。

所述夾持輸送單元包括：兩個相對設置的夾爪，兩個夾爪相互配合形成對所述單晶硅棒的夾持；夾爪升降驅動機構，所述夾爪升降驅動機構用于帶動所述夾爪升降；以及夾爪水平移位驅動機構，所述夾爪水平移位驅動機構用于帶動所述夾爪及所述夾爪升降驅動機構一起在第四位置和第五位置之間往復移動。

所述夾持輸送單元還包括：間隙調節機構，所述間隙調節機構用于調節兩個所述夾爪之間的夾持間隙，以夾持不同尺寸的單晶硅棒。

各所述夾爪的內側面均設置有第二柔性護墊。