[發明專利]電極蒸鍍裝置

有效

• 申請號: 201810601634.0
• 申請日: 2018-06-12
• 公開（公告）號: CN108504992B
• 公開（公告）日: 2023-10-03
• 發明（設計）人: 鄭澄;胡小鵬;薛其坤;陳曦
• 申請（專利權）人: 清華大學
• 主分類號: C23C14/04
• 分類號: C23C14/04;C23C14/24
• 代理公司: 北京華進京聯知識產權代理有限公司 11606
• 代理人: 熊曲

本發明涉及材料制備技術領域，特別是涉及一種電極蒸鍍裝置，包括：支撐臺、第一限位件、掩膜架、第一彈性件和第二限位件。第一限位件固定于支撐臺的一側，掩膜架滑設于第一限位件；第一彈性件設置于第一限位件和掩膜架之間；第二限位件滑設于支撐臺；利用傳樣抓手將樣品安裝到支撐臺，傳樣抓手對第二限位件施加外力，第二限位件在外力的作用下，將掩膜架朝遠離支撐臺的方向推動。當外力撤除時，第一彈性件將掩膜架向支撐臺的方向推動，以使掩膜與樣品接觸。這樣，本發明的電極蒸鍍裝置，不需要利用單獨的操作桿來操作掩膜架，而是在完成樣品傳送的同時實現樣品與掩膜的接觸。從而便于檢測人員操作，簡化了操作的步驟，降低了操作的難度。

技術領域

本發明涉及材料制備技術領域，特別是涉及一種電極蒸鍍裝置。

背景技術

傳統的電極蒸鍍裝置，包括樣品托插座、第一限位框、第二限位框和磁力棒，以及支撐結構。所述樣品托插座、所述第一限位框和所述第二限位框設置于所述支撐結構的表面。所述樣品托插座用于固定樣品，且具有相對兩個凸棒，定義相互垂直的X方向和Y方向，該兩個凸棒的連線平行于X方向。所述第一限位框具有相對的兩個第一開口，所述第二限位框具有相對的兩個第二開口，該第二限位框和第一限位框依次套設在所述樣品托插座上，且凸棒依次穿過第二開口和第一開口。所述支撐結構包括支撐臺，所述第一開口具有與所述支撐臺的表面成角度的斜面，該斜面的延長線與所述支撐臺的表面形成鈍角。所述第二開口具有相對的兩個與支撐臺的表面垂直的側面，該第二開口用于使所述樣品托插座上下移動。磁力棒位于第一限位框的外側，且該磁力棒沿Y方向延伸。當安裝樣品的時候，沿著Y方向推動磁力棒，從而使得所述樣品托插座由于第一開口中斜面和第二開口的限位而向上移動。當撤回該磁力棒，使磁力棒遠離第一限位框時，樣品托插座在重力的作用下向下移動。即所述樣品托插座在重力作用下向掩膜的位置靠近，以使樣品與掩膜接觸。

但是，傳統的電極蒸鍍裝置，在實驗人員將樣品托與樣品托插座連接的同時，還需要操作磁力棒，增加了實驗人員的操作步驟以及操作難度。

發明內容

基于此，有必要針對傳統的電極蒸鍍裝置增加了實驗人員的操作步驟以及操作難度的問題，提供一種操作簡便的電極蒸鍍裝置。

一種電極蒸鍍裝置，包括：支撐臺，用于固定支撐帶有樣品的樣品托；

第一限位件,固定于所述支撐臺的一側；

掩膜架，滑設于所述第一限位件，所述掩膜架用于裝載掩膜；

第一彈性件，設置于所述第一限位件和所述掩膜架之間，所述第一彈性件利用自身的彈性恢復力將所述掩膜架朝靠近所述支撐臺的方向推動；以及

第二限位件，滑設于所述支撐臺，所述第二限位件與所述第一限位件分別位于所述支撐臺的兩側；

利用傳樣抓手對所述第二限位件施加外力，所述第二限位件在所述外力的作用下，將所述掩膜架朝遠離所述支撐臺的方向推動；當所述外力撤除時，所述第一彈性件將所述掩膜架向所述支撐臺的方向推動，以使所述掩膜與所述樣品接觸。

在其中一個實施例中，所述第一限位件包括第一限位桿，所述第一限位桿的一端固定于所述支撐臺；

所述掩膜架設置有用于供所述第一限位桿穿過的第一限位孔；

所述第一彈性件為螺旋彈簧，所述第一彈性件套設于所述第一限位桿，所述第一彈性件的一端與所述第一限位桿遠離所述支撐臺的一端連接，所述第一彈性件的另一端與所述掩膜架抵接。

在其中一個實施例中，所述第一限位件還包括第一限位凸起，所述第一限位凸起連接于所述第一限位桿遠離所述支撐臺的一端；所述第一彈性件的一端與所述掩膜架抵接，所述第一彈性件的另一端與所述第一限位凸起抵接。

在其中一個實施例中，所述第一限位桿為多個，多個所述第一限位桿均勻布置于所述支撐臺。