[發明專利]電極蒸鍍裝置

有效

• 申請號: 201810601634.0
• 申請日: 2018-06-12
• 公開（公告）號: CN108504992B
• 公開（公告）日: 2023-10-03
• 發明（設計）人: 鄭澄;胡小鵬;薛其坤;陳曦
• 申請（專利權）人: 清華大學
• 主分類號: C23C14/04
• 分類號: C23C14/04;C23C14/24
• 代理公司: 北京華進京聯知識產權代理有限公司 11606
• 代理人: 熊曲

1.一種電極蒸鍍裝置，其特征在于，包括：支撐臺(100)，用于固定支撐帶有樣品(700)的樣品托(500)；

第一限位件(200),固定于所述支撐臺(100)的一側；

掩膜架(300)，滑設于所述第一限位件(200)，所述掩膜架(300)用于裝載掩膜(800)；

第一彈性件，設置于所述第一限位件(200)和所述掩膜架(300)之間，所述第一彈性件利用自身的彈性恢復力將所述掩膜架(300)朝靠近所述支撐臺(100)的方向推動；以及

第二限位件(400)，滑設于所述支撐臺(100)，所述第二限位件(400)與所述第一限位件(200)分別位于所述支撐臺(100)的兩側；

利用傳樣抓手(600)對所述第二限位件(400)施加外力，所述第二限位件(400)在所述外力的作用下，將所述掩膜架(300)朝遠離所述支撐臺(100)的方向推動；當所述外力撤除時，所述第一彈性件將所述掩膜架(300)向所述支撐臺(100)的方向推動，以使所述掩膜(800)與所述樣品(700)接觸。

2.根據權利要求1所述的電極蒸鍍裝置，其特征在于，所述第一限位件(200)包括第一限位桿(210)，所述第一限位桿(210)的一端固定于所述支撐臺(100)；

所述掩膜架(300)設置有用于供所述第一限位桿(210)穿過的第一限位孔；

所述第一彈性件為螺旋彈簧，所述第一彈性件套設于所述第一限位桿(210)，所述第一彈性件的一端與所述第一限位桿(210)遠離所述支撐臺(100)的一端連接，所述第一彈性件的另一端與所述掩膜架(300)抵接。

3.根據權利要求2所述的電極蒸鍍裝置，其特征在于，所述第一限位件(200)還包括第一限位凸起(220)，所述第一限位凸起(220)連接于所述第一限位桿(210)遠離所述支撐臺(100)的一端；所述第一彈性件的一端與所述掩膜架(300)抵接，所述第一彈性件的另一端與所述第一限位凸起(220)抵接。

4.根據權利要求2所述的電極蒸鍍裝置，其特征在于，所述第一限位桿(210)為多個，多個所述第一限位桿(210)均勻布置于所述支撐臺(100)。

5.根據權利要求1所述的電極蒸鍍裝置，其特征在于，所述第二限位件(400)包括環形架(410)和第二限位桿(420)，所述第二限位桿(420)的一端與所述環形架(410)連接，所述第二限位桿(420)的另一端穿設于所述支撐臺(100)且與所述掩膜架(300)抵接；

所述支撐臺(100)設置有用于滑設所述第二限位桿(420)的第二限位孔。

6.根據權利要求5所述的電極蒸鍍裝置，其特征在于，所述第二限位件(400)還包括第二限位凸起(430)，所述第二限位凸起(430)連接于所述第二限位桿(420)遠離所述環形架(410)的一端；

所述第二限位凸起(430)與所述環形架(410)分別位于所述支撐臺(100)的兩側。

7.根據權利要求5所述的電極蒸鍍裝置，其特征在于，還包括：

第二彈性件，設置于所述第二限位件(400)與所述支撐臺(100)之間，所述第二彈性件利用自身的彈性恢復力將所述第二限位件(400)朝遠離所述支撐臺(100)的方向推動。

8.根據權利要求6所述的電極蒸鍍裝置，其特征在于，所述第二彈性件為螺旋彈簧，所述第二彈性件套設于所述第二限位桿(420)，所述第二彈性件的一端與所述支撐臺(100)抵接，所述第二彈性件另一端與所述環形架(410)抵接。

9.根據權利要求5所述的電極蒸鍍裝置，其特征在于，所述第二限位桿(420)為多個，多個所述第二限位桿(420)均勻布置于所述環形架(410)。