[發明專利]具有緩存區的物料傳送設備、物料傳送系統及其組裝方法

在審

• 申請號: 201810589246.5
• 申請日: 2018-06-08
• 公開（公告）號: CN110577077A
• 公開（公告）日: 2019-12-17
• 發明（設計）人: 楊應俊;李海東;劉子敏;王勝利;楊波
• 申請（專利權）人: 深圳市矽電半導體設備有限公司
• 主分類號: B65G47/69
• 分類號: B65G47/69;B65G47/91
• 代理公司: 11508 北京維正專利代理有限公司
• 代理人: 何星民

本發明公開了具有緩存區的物料傳送設備、物料傳送系統及其組裝方法，解決了常見對原機臺設備進行工業4.0改造時,改造成本較高的問題，其技術方案要點是，包括：機臺；設于所述機臺上的傳送裝置，所述機臺上設有至少兩個用于暫存產品的緩存區，所述緩存區設置于所述機臺的一側或兩側，所述傳送裝置可延伸出所述機臺至少一個緩存區的長度；以及，滑動式設置于所述傳送裝置上、受所述傳送裝置驅動以輸送產品的機械手裝置，達到改造成本低，組線較為靈活，較大地降低了成本的目的。

技術領域

本發明涉及自動化設備技術領域，特別涉及具有緩存區的物料傳送設備、物料傳送系統及其組裝方法。

背景技術

隨著半導體集成電路的飛速發展,在半導體設備行業進行工業4.0改造勢在必行。進行改造時,改造點主要集中體現在上下料的位置,但由于半導體設備行業的特殊性,在對原機臺設備進行工業4.0改造時,要求改造成本低,運動可靠,運行高效,且組線靈活,現有的改造方案成本較高，因此需要提供一種解決半導體設備單機組線所面臨問題的優選方案。

發明內容

本發明的目的一是提供一種具有緩存區的物料傳送設備，具有單個機臺的改造成本低，在對多個改造后的機臺進行組線較為靈活的優點。

本發明的上述技術目的是通過以下技術方案得以實現的：一種具有緩存區的物料傳送設備，包括：機臺；設于所述機臺上的傳送裝置，所述機臺上設有至少兩個用于暫存產品的緩存區，所述緩存區設置于所述機臺靠近傳送裝置的一側或兩側，所述傳送裝置可延伸出所述機臺至少一個緩存區的長度；以及，滑動式設置于所述傳送裝置上、受所述傳送裝置驅動以輸送產品的機械手裝置。

通過采用上述技術方案，在進行單個物料傳送設備的改造時，機臺上設置至少兩個用于暫存產品的緩存區，當機械手裝置在傳送裝置上滑動將產品輸送至緩存區時，因每個機臺的傳送裝置延伸出機臺自身至少一個緩存區的長度，所以相鄰機臺的機械手裝置可到達前一機臺的緩存區，從而實現將一機臺上緩存區的產品輸送至相鄰機臺上，在不對原有機臺進行過大改造的情況下，實現多個機臺的組線，改造成本低，組線較為靈活，較大地降低了成本。

本發明的進一步設置，所述傳送裝置包括：設于所述機臺上、沿所述機臺長度方向設置、供所述機械手裝置滑動的軌道；以及，設于所述機臺上、用于驅動所述機械手裝置在所述軌道上滑動的輸送機構。

通過采用上述技術方案，輸送機構可驅動機械手裝置在軌道上移動，實現產品在機臺上的輸送及向相鄰機臺輸送的工作。

本發明的進一步設置，所述輸送機構包括：設于所述軌道上的主動輪及從動輪；用于驅動主動輪轉動的電機；以及，套設于所述主動輪及從動輪上與機械手裝置固定的傳送帶。

通過采用上述技術方案，電機驅動主動輪轉動，從而帶動傳送帶移動，帶動機械手裝置移動以實現產品的輸送。

本發明的進一步設置，所述機械手裝置包括：滑動式設置于所述軌道上、與所述傳送帶固定的滑動座；設于滑動座靠近緩存區一端的架體；設于所述滑動座、用于驅動架體升降的驅動件；以及，多個設于所述架體朝向緩存區一面的吸盤。

通過采用上述技術方案，傳送帶移動帶動滑動座移動，滑動座在軌道上滑動至緩存區時，驅動件驅動架體升降，使吸盤將緩存區上的產品吸合，從而實現產品的轉移。

本發明的進一步設置，所述機械手裝置包括：滑動式設置于所述軌道上、與所述傳送帶固定的副軌道；滑動式設置于所述副軌道上的滑動座；設于所述副軌道上、用于驅動所述滑動座在所述副軌道上滑動的副輸送機構；設于滑動座靠近緩存區一端的架體；設于所述滑動座、用于驅動架體升降的驅動件；以及，多個設于所述架體朝向緩存區一面的吸盤。