[發明專利]可撓性電子裝置及其制造方法

有效

• 申請號: 201810588370.X
• 申請日: 2018-06-08
• 公開（公告）號: CN108807287B
• 公開（公告）日: 2020-06-23
• 發明（設計）人: 蕭翔允;林恭正;許庭毓;江丞偉;陳佳楷
• 申請（專利權）人: 友達光電股份有限公司
• 主分類號: H01L23/12
• 分類號: H01L23/12
• 代理公司: 隆天知識產權代理有限公司 72003
• 代理人: 黃艷

1.一種可撓性電子裝置，包括：

一可撓性基板，具有一第一表面以及相對于該第一表面的一第二表面，且該可撓性基板的該第二表面上包括多個溝渠；

一導線結構，位于該可撓性基板的該第一表面上；以及

一彈性層，填充于該可撓性基板的該些溝渠內，且該彈性層的楊氏模量小于該可撓性基板的楊氏模量，

其中該些溝渠具有一第一延伸方向，該導線結構具有一第二延伸方向，且該第二延伸方向垂直于該第一延伸方向，

其中該可撓性基板具有一可彎折區以及與該可彎折區相接的一元件區，該可彎折區具有與該些溝渠相同的該第一延伸方向，該導線結構自該元件區延伸至該可彎折區。

2.如權利要求1所述的可撓性電子裝置，其中相鄰的該些溝渠之間的間距大于或等于5微米，該些溝渠的寬度大于或等于2微米。

3.如權利要求1所述的可撓性電子裝置，其中該些溝渠的深度小于該可撓性基板的厚度。

4.如權利要求1所述的可撓性電子裝置，其中該導線結構包括相連于多個接點的多個條型導線，且于該可撓性基板的一垂直方向上該些接點與該彈性層不重疊。

5.如權利要求1所述的可撓性電子裝置，其中該些溝渠具有一第一延伸方向，該導線結構包括一彎曲型導線，且該彎曲型導線沿該第二延伸方向上具有多個反曲點。

6.如權利要求1所述的可撓性電子裝置，該可撓性電子裝置還包括：

一介電層，位于該導線結構和該可撓性基板之間，該介電層為單層或多層結構；以及

一主動元件，位于該介電層上且與該導線結構電性連接，且該主動元件對應于該可撓性基板的該元件區設置。

7.如權利要求6所述的可撓性電子裝置，其中該介電層包括一第一部分以及一第二部分，該第一部分對應于該可撓性基板的該可彎折區，該第二部分對應于該可撓性基板的該元件區，且該第一部分的厚度小于該第二部分的厚度。

8.如權利要求6所述的可撓性電子裝置，其中該可撓性基板更具有一周邊區，其中該可彎折區位于該元件區與該周邊區之間，該導線結構更自該可彎折區延伸至該周邊區，且該可撓性電子裝置還包括：

一電極，位于該介電層上且對應于該可撓性基板的該周邊區配置，其中該電極與該主動元件通過該導線結構彼此電性連接。

9.如權利要求1所述的可撓性電子裝置，其中該彈性層的材質包括硅氧樹脂，且該彈性層的楊氏模量小于等于5GPa。

10.一種可撓性電子裝置的制造方法，包括：

提供一載板；

于該載板上形成一離形層；

于該離形層上形成具有圖案化的一彈性層，該彈性層為具有一第一延伸方向且彼此平行的多個細長條狀；

于該離形層上形成一可撓性基板，且該可撓性基板包覆該彈性層，且該彈性層的楊氏模量小于該可撓性基板的楊氏模量；

于該可撓性基板上形成一圖案化介電層，該圖案化介電層具有該第一延伸方向的一凹槽；

于該可撓性基板上形成一導線結構于該凹槽內并跨過該凹槽兩端，該導線結構具有一第二延伸方向，且該第一延伸方向不同于該第二延伸方向；以及

分離該載板和該可撓性基板。

11.如權利要求10所述的可撓性電子裝置的制造方法，其中該彈性層的材質包括硅氧樹脂，且該彈性層的楊氏模量小于5GPa。

12.如權利要求10所述的可撓性電子裝置的制造方法，還包括：

在形成該離形層之前，于該載板上形成一圖案化光刻膠層，其中：

該離形層共型覆蓋于該圖案化光刻膠層上；

形成于該離形層上的該彈性層對應于該圖案化光刻膠層。

13.如權利要求10所述的可撓性電子裝置的制造方法，還包括：

在將該載板與該可撓性基板分離之后，移除該彈性層。