[發明專利]壓力感應模組及其制作方法、電子設備

有效

• 申請號: 201810579465.5
• 申請日: 2018-06-07
• 公開（公告）號: CN108803930B
• 公開（公告）日: 2020-08-07
• 發明（設計）人: 郭遠征
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司
• 主分類號: G06F3/041
• 分類號: G06F3/041
• 代理公司: 北京銀龍知識產權代理有限公司 11243
• 代理人: 劉偉;張博

本發明提供了一種壓力感應模組及其制作方法、電子設備，屬于壓力感應技術領域。其中，壓力感應模組的制作方法包括：提供一載板；在所述載板上形成柔性薄膜；在所述柔性薄膜上形成位于不同水平面的第一壓力感應電極和第二壓力感應電極，所述第二壓力感應電極對應相鄰所述第一壓力感應電極之間的間隙設置，在受到壓力作用時，所述第一壓力感應電極和所述第二壓力感應電極之間的距離能夠發生變化；形成覆蓋所述第一壓力感應電極和所述第二壓力感應電極的柔性保護膜；將所述柔性薄膜從所述載板上剝離。本發明的壓力感應模組能夠應用在柔性顯示產品、機器人以及可穿戴設備中。

技術領域

本發明涉及壓力感應技術領域，特別是指一種壓力感應模組及其制作方法、電子設備。

背景技術

近年來柔性顯示產品迅猛發展，各大顯示廠商都在如火如荼的推進柔性顯示產品的量產，柔性顯示產品的成熟提出了對于柔性壓力感應模組的需求；另一方面機器人特別是類人機器人的發展，要求機械手抓取物體的時候可以精確地感受力的大小，匹配抓取物體的動作，也提出了對于柔性壓力感應模組的需求。

發明內容

本發明要解決的技術問題是提供一種壓力感應模組及其制作方法、電子設備，能夠應用在柔性顯示產品、機器人以及可穿戴設備中。

為解決上述技術問題，本發明的實施例提供技術方案如下：

一方面，提供一種壓力感應模組的制作方法，包括：

提供一載板；

在所述載板上形成柔性薄膜；

在所述柔性薄膜上利用金屬形成位于不同水平面的第一壓力感應電極和第二壓力感應電極，所述第二壓力感應電極對應相鄰所述第一壓力感應電極之間的間隙設置，在受到壓力作用時，所述第一壓力感應電極和所述第二壓力感應電極之間的距離能夠發生變化；

形成覆蓋所述第一壓力感應電極和所述第二壓力感應電極的柔性保護膜；

將所述柔性薄膜從所述載板上剝離。

進一步地，所述在所述載板上形成柔性薄膜之前，所述方法還包括：

在所述載板上形成離型層；

所述在所述載板上形成柔性薄膜具體為：

在所述離型層上形成所述柔性薄膜。

進一步地，所述在所述柔性薄膜上形成位于不同水平面的第一壓力感應電極和第二壓力感應電極包括：

在所述柔性薄膜上形成多個間隔排布的第一壓力感應電極；

形成覆蓋所述第一壓力感應電極的第一柔性層；

在所述第一柔性層上形成多個間隔排布的第二壓力感應電極；

去除相鄰所述第二壓力感應電極之間的至少部分所述第一柔性層。

進一步地，所述在所述柔性薄膜上形成位于不同水平面的第一壓力感應電極和第二壓力感應電極包括：

在所述柔性薄膜上形成多個間隔排布的第一壓力感應電極；

形成覆蓋所述第一壓力感應電極的第一柔性層；

在所述第一柔性層上形成多個間隔排布的第二壓力感應電極；

形成覆蓋所述第二壓力感應電極的第二柔性層；

去除相鄰所述第二壓力感應電極之間的所述第二柔性層和至少部分所述第一柔性層。

本發明實施例還提供了一種壓力感應模組，包括：

柔性薄膜；