[發(fā)明專(zhuān)利]壓力感應(yīng)模組及其制作方法、電子設(shè)備

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201810579465.5
• 申請(qǐng)日: 2018-06-07
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN108803930B
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-08-07
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 郭遠(yuǎn)征
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 京東方科技集團(tuán)股份有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): G06F3/041
• 分類(lèi)號(hào): G06F3/041
• 代理公司: 北京銀龍知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11243
• 代理人: 劉偉;張博

1.一種壓力感應(yīng)模組的制作方法，其特征在于，包括：

提供一載板；

在所述載板上形成柔性薄膜；

在所述柔性薄膜上利用金屬形成位于不同水平面的第一壓力感應(yīng)電極和第二壓力感應(yīng)電極，所述第二壓力感應(yīng)電極對(duì)應(yīng)相鄰所述第一壓力感應(yīng)電極之間的間隙設(shè)置，在受到壓力作用時(shí)，所述第一壓力感應(yīng)電極和所述第二壓力感應(yīng)電極之間的距離能夠發(fā)生變化；

形成覆蓋所述第一壓力感應(yīng)電極和所述第二壓力感應(yīng)電極的柔性保護(hù)膜；

將所述柔性薄膜從所述載板上剝離；

所述在所述柔性薄膜上形成位于不同水平面的第一壓力感應(yīng)電極和第二壓力感應(yīng)電極包括：

在所述柔性薄膜上形成多個(gè)間隔排布的第一壓力感應(yīng)電極；

形成覆蓋所述第一壓力感應(yīng)電極的第一柔性層；

在所述第一柔性層上形成多個(gè)間隔排布的第二壓力感應(yīng)電極；

去除相鄰所述第二壓力感應(yīng)電極之間的至少部分所述第一柔性層。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓力感應(yīng)模組的制作方法，其特征在于，所述在所述載板上形成柔性薄膜之前，所述方法還包括：

在所述載板上形成離型層；

所述在所述載板上形成柔性薄膜具體為：

在所述離型層上形成所述柔性薄膜。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓力感應(yīng)模組的制作方法，其特征在于，所述在所述柔性薄膜上形成位于不同水平面的第一壓力感應(yīng)電極和第二壓力感應(yīng)電極還包括：

形成覆蓋所述第二壓力感應(yīng)電極的第二柔性層；

去除相鄰所述第二壓力感應(yīng)電極之間的所述第二柔性層。

4.一種壓力感應(yīng)模組，其特征在于，包括：

柔性薄膜；

位于所述柔性薄膜上、采用金屬制成的第一壓力感應(yīng)電極和第二壓力感應(yīng)電極，所述第一壓力感應(yīng)電極和所述第二壓力感應(yīng)電極位于不同水平面，所述第二壓力感應(yīng)電極對(duì)應(yīng)相鄰所述第一壓力感應(yīng)電極之間的間隙設(shè)置，在受到壓力作用時(shí)，所述第一壓力感應(yīng)電極和所述第二壓力感應(yīng)電極之間的距離能夠發(fā)生變化；

覆蓋所述第一壓力感應(yīng)電極和第二壓力感應(yīng)電極的柔性保護(hù)膜；

所述壓力感應(yīng)模組具體包括：

柔性薄膜；

位于所述柔性薄膜上的多個(gè)間隔排布的第一壓力感應(yīng)電極；

第一柔性層的圖形，所述第一柔性層的圖形包括多個(gè)交替排布的凹槽和凸起，所述凹槽對(duì)應(yīng)所述第一壓力感應(yīng)電極設(shè)置；

位于所述凸起上的第二壓力感應(yīng)電極。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的壓力感應(yīng)模組，其特征在于，所述壓力感應(yīng)模組還包括：

覆蓋所述第二壓力感應(yīng)電極的第二柔性層的圖形，所述第二柔性層的圖形在所述柔性薄膜上的正投影落入所述凸起在所述柔性薄膜上的正投影內(nèi)。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的壓力感應(yīng)模組，其特征在于，所述柔性薄膜、所述第一柔性層和所述第二柔性層采用聚酰亞胺制成。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的壓力感應(yīng)模組，其特征在于，所述柔性薄膜的厚度為5-20um，所述第一柔性層的厚度為1-10um，所述第二柔性層的厚度為5-20um。

8.一種電子設(shè)備，其特征在于，包括如權(quán)利要求4-7中任一項(xiàng)所述的壓力感應(yīng)模組。