[發明專利]一種掃描電子顯微鏡觀察鈦酸鋇超細粉的方法

有效

• 申請號: 201810571135.1
• 申請日: 2018-06-05
• 公開（公告）號: CN108760785B
• 公開（公告）日: 2021-04-09
• 發明（設計）人: 嚴回;倪晶晶;張望;毛素;韓暉;王友樂;王永和
• 申請（專利權）人: 安徽中創電子信息材料有限公司;中建材蚌埠玻璃工業設計研究院有限公司
• 主分類號: G01N23/2202
• 分類號: G01N23/2202;G01N23/2251
• 代理公司: 安徽省蚌埠博源專利商標事務所(普通合伙) 34113
• 代理人: 楊晉弘

1.一種掃描電子顯微鏡觀察鈦酸鋇超細粉的方法，其特征在于包括以下步驟：

1）將鈦酸鋇超細粉體置于互不相溶的分散劑中，控制分散劑與鈦酸鋇超細粉體質量比為600:1-1000:1，超聲振蕩10-30min，超聲頻率40-80HZ，制得鈦酸鋇超細粉體渾濁液；

2）用毛細管或是微量移取器移取步驟1）制得的鈦酸鋇超細粉體渾濁液置于載體片上；

3） 將沾有鈦酸鋇超細粉體渾濁液的載體片進行真空干燥，控制真空干燥箱內溫度為80-110℃，真空度為0.2-0.8Mpa，干燥30min；

4）將步驟3）干燥后所得的載體片置于壓樣機上制得待測樣品，控制壓力為0.01-3.0Mpa，時間為5-30s；

5）將步驟4）制得的待測樣品用有導電性的粘合劑粘在金屬樣品臺上，然后放在離子濺射噴鍍真空儀中噴鍍一層導電鍍層，控制離子濺射噴鍍真空儀噴鍍的真空條件為5×10^-2-6×10^-2Pa，電流5-10mA；

6）控制電子顯微鏡掃描真空拍攝條件：真空度大于10^-5MPa，低電壓為2KV-5KV；

7）調整測試距離后，任意選定區域，即可拍攝出粉體電鏡圖。

2.根據權利要求1所述一種掃描電子顯微鏡觀察鈦酸鋇超細粉的方法，其特征在于：步驟1）中分散劑為無水乙醇、丙酮、六偏磷酸鈉中一種或兩種混合溶劑。

3.根據權利要求1所述一種掃描電子顯微鏡觀察鈦酸鋇超細粉的方法，其特征在于：步驟2）中載體片為玻璃、錫箔紙、導電膠、銅網或硅片中任一種。

4.根據權利要求1所述一種掃描電子顯微鏡觀察鈦酸鋇超細粉的方法，其特征在于：步驟5）中導電鍍層為金或碳。