[發明專利]一種硅片涂源裝置

在審

• 申請號: 201810570807.7
• 申請日: 2018-06-05
• 公開（公告）號: CN110560327A
• 公開（公告）日: 2019-12-13
• 發明（設計）人: 李思泉;陳海國;肖俊琳;鐘雄雄;尹小玲;李偉強;鄭楷熠
• 申請（專利權）人: 深圳市旭控科技有限公司
• 主分類號: B05C5/02
• 分類號: B05C5/02;B05C13/02;B05C11/08
• 代理公司: 44368 深圳市智勝聯合知識產權代理有限公司
• 代理人: 李永華;張廣興

1.一種硅片涂源裝置，其特征在于，所述硅片涂源裝置包括機械手機構、點膠裝置、驅動裝置、定位工裝臺，所述驅動裝置和所述定位工裝臺固定連接并帶動所述定位工裝臺一起旋轉運動，所述機械手機構夾取待加工的硅片放置在所述定位工裝臺上，所述點膠裝置對所述定位工裝臺上的待加工的硅片進行點膠，膠水隨著所述驅動裝置高速旋轉下在硅片的端面甩均勻。

2.根據權利要求1所述的硅片涂源裝置，其特征在于，所述硅片涂源裝置包括固定底板及蓋板，所述驅動裝置固定安裝在所述固定底板上，所述定位工裝臺位于所述固定底板和所述蓋板之間。

3.根據權利要求2所述的硅片涂源裝置，其特征在于，所述硅片涂源裝置包括擋邊圈，所述擋邊圈套設于所述定位工裝臺并收容所述定位工裝臺。

4.根據權利要求3所述的硅片涂源裝置，其特征在于，所述硅片涂源裝置包括設有支撐所述擋邊圈的支撐板、與所述固定底板固定在一起的第一安裝板、與所述第一安裝板固定連接的滑塊。

5.根據權利要求4所述的硅片涂源裝置，其特征在于，所述支撐板上設有滑軌，所述滑軌和所述滑塊之間產生相對位移從而使得所述擋邊圈上升或者下降。

6.根據權利要求5所述的硅片涂源裝置，其特征在于，所述蓋板還設有定位孔，當所述擋邊圈上升時，所述擋邊圈抵靠在所述定位孔中，所述點膠裝置透過所述定位孔對所述定位工裝臺上的待加工的硅片進行點膠；當所述擋邊圈下降時，所述擋邊圈遠離所述定位孔。

7.根據權利要求6所述的硅片涂源裝置，其特征在于，所述擋邊圈上設有廢液接口，所述蓋板設有接液座，所述廢液接口和所述接液座均用于回收廢液。

8.根據權利要求2所述的硅片涂源裝置，其特征在于，所述點膠裝置包括點膠頭、與所述點膠頭固定并相通的固定座、與所述固定座固定連接的固定架、驅動所述固定架旋轉運動的旋轉機構、驅動所述固定架上下運動的升降機構、安裝所述旋轉機構和所述升降機構的第二安裝板、兩端分別與所述第二安裝板、所述固定底板固定連接的固定桿。

9.根據權利要求1所述的硅片涂源裝置，其特征在于，所述機械手機構設有多個用于吸附硅片的吸頭，所述定位工裝臺上設有用于吸附硅片的吸孔，所述硅片涂源裝置還包括抽風管組件，所述抽風管組件和所述吸孔相通。

10.根據權利要求1所述的硅片涂源裝置，其特征在于，所述硅片涂源裝置還包括與所述固定底板固定的罩底座，所述罩底座上設有與罩底座鉸接的罩板，所述罩板固定設有提手，所述提手用于打開或者關閉所述罩板。