[發(fā)明專利]用于冷卻加熱管的熱交換器和所述冷卻的方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201810570186.2
• 申請日: 2011-12-09
• 公開（公告）號: CN108759513A
• 公開（公告）日: 2018-11-06
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: G·霍夫曼;P·斯庫克
• 申請（專利權(quán)）人: 應(yīng)用材料公司
• 主分類號: F28D5/00
• 分類號: F28D5/00;F28D7/00
• 代理公司: 上海專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 31100
• 代理人: 楊學(xué)春;侯穎媖

本發(fā)明描述了用于冷卻加熱管的熱交換器，所述熱交換器包含：至少兩個(gè)冷卻管，其中所述至少兩個(gè)冷卻管被布置以使得所述至少兩個(gè)冷卻管的每個(gè)冷卻管被配置以與加熱管熱接觸；和用于產(chǎn)生氣霧劑的裝置，所述裝置被配置以在至少兩個(gè)冷卻管中提供氣霧劑。

本申請是申請日為2011年12月9日、申請?zhí)枮?01180075395.6、名稱為“用于冷卻加熱管的熱交換器和所述冷卻的方法”的中國專利申請(PCT申請?zhí)枮镻CT/EP2011/072371)的分案申請。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明實(shí)施例涉及用于冷卻例如用作蒸發(fā)器的加熱管的熱交換器，和冷卻加熱管的方法。

背景技術(shù)

加熱管被例如用于半導(dǎo)體工業(yè)中以沉積薄膜。材料在加熱管中被汽化，且蒸汽在沉積在基板上之前穿過開口。例如，諸如三聚氰胺的三嗪可被汽化，且在蒸汽通過開口之后，蒸汽沉積在基板上以便涂布。加熱管必須有時(shí)被冷卻以例如替換涂料(例如三聚氰胺)，因?yàn)橥苛显诒挥糜谕坎既舾苫逯笞兊煤谋M。生產(chǎn)的總速率可受各種操作時(shí)間影響，具體而言冷卻加熱管所需的時(shí)間。因此，與當(dāng)加熱管用于涂布應(yīng)用時(shí)的加熱管相關(guān)聯(lián)的問題是用于冷卻所需的時(shí)間，其中更需要快速的冷卻時(shí)間。

盡管液態(tài)水可在一些情況下用作熱設(shè)備的冷卻劑，但是部分由于水的高比熱容和/或汽化熱的水功效的原因，存在當(dāng)使用液態(tài)水冷卻物品時(shí)引起顯著問題的情況。例如，當(dāng)溫度高于水的沸點(diǎn)溫度時(shí)，由于水的快速汽化，將水用作熱交換器中的冷卻劑可能引起高壓。高壓可能破壞墊圈和密封，和導(dǎo)致熱交換器的故障。

存在具體而言用于冷卻加熱管或蒸發(fā)器的熱交換器的強(qiáng)烈需要，所述熱交換器可增加冷卻速率，從而增加加熱管的生產(chǎn)率。

鑒于上文，本發(fā)明的目的是提供克服本技術(shù)領(lǐng)域中的至少一些問題的熱交換器。

發(fā)明內(nèi)容

根據(jù)實(shí)施例，提供用于冷卻加熱管10的熱交換器100，所述熱交換器100包含：至少兩個(gè)冷卻管20，其中至少兩個(gè)冷卻管被布置以使得至少兩個(gè)冷卻管20的每個(gè)冷卻管被配置以與加熱管10熱接觸；和用于產(chǎn)生氣霧劑50的裝置，所述裝置被配置以在至少兩個(gè)冷卻管中提供氣霧劑。

根據(jù)另一實(shí)施例，本發(fā)明提供一種冷卻蒸發(fā)器的加熱管的方法，所述方法包含注入氣霧劑至至少兩個(gè)冷卻管中，所述至少兩個(gè)冷卻管與加熱管熱接觸。

附圖說明

因此，以可詳細(xì)地理解本發(fā)明的上述特征的方式，可參考實(shí)施例獲得上文簡要總結(jié)的本發(fā)明的更特定描述。附圖涉及本發(fā)明實(shí)施例且附圖描述在下文中：

圖1圖示根據(jù)本文所述的實(shí)施例的被配置以與加熱管熱接觸的熱交換器；

圖2圖示根據(jù)本文所述的實(shí)施例的被配置以與加熱管熱接觸的熱交換器；

圖3圖示根據(jù)本文所述的實(shí)施例的被配置以與加熱管熱接觸的熱交換器；

圖4圖示根據(jù)本文所述的實(shí)施例的被配置以與加熱管熱接觸的熱交換器；

圖5圖示根據(jù)本文所述的實(shí)施例的被配置以與加熱管熱接觸的熱交換器；

圖6圖示根據(jù)本文所述的實(shí)施例的至產(chǎn)生氣霧劑的裝置的脈沖信號；

圖7圖示根據(jù)本文所述的實(shí)施例的被配置以與加熱管熱接觸的冷卻管的橫截面；

圖8圖示根據(jù)本文所述的實(shí)施例的被配置以與加熱管熱接觸的冷卻管的橫截面；

圖9圖示根據(jù)本文所述的實(shí)施例的被配置以與加熱管熱接觸的熱交換器的冷卻管；

圖10圖示根據(jù)本文所述的實(shí)施例的被配置以與加熱管熱接觸的冷卻管的橫截面，所述加熱管具有凹槽；

圖11圖示根據(jù)本文所述的實(shí)施例的被配置以與加熱管熱接觸的冷卻管，和外部皮帶的橫截面；