[發(fā)明專利]用于冷卻加熱管的熱交換器和所述冷卻的方法

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201810570186.2
• 申請(qǐng)日: 2011-12-09
• 公開（公告）號(hào): CN108759513A
• 公開（公告）日: 2018-11-06
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: G·霍夫曼;P·斯庫(kù)克
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 應(yīng)用材料公司
• 主分類號(hào): F28D5/00
• 分類號(hào): F28D5/00;F28D7/00
• 代理公司: 上海專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 31100
• 代理人: 楊學(xué)春;侯穎媖

1.一種冷卻加熱管(10)的熱交換器(100)，包含：

至少兩個(gè)冷卻管(20)，其中所述至少兩個(gè)冷卻管被布置以使得至少兩個(gè)冷卻管(20)的每個(gè)冷卻管被配置以與加熱管(10)熱接觸；和

用于產(chǎn)生氣霧劑(50)的裝置，被配置以在所述至少兩個(gè)冷卻管中提供所述氣霧劑。

2.如權(quán)利要求1所述的熱交換器，其特征在于

用于產(chǎn)生所述氣霧劑(50)的裝置包含：

至少兩個(gè)毛細(xì)管(30)；和

閥門(40)，特別是脈沖閥。

3.如權(quán)利要求2所述的熱交換器，進(jìn)一步包含：

導(dǎo)管(60)，在所述閥門(40)和所述至少兩個(gè)毛細(xì)管(30)之間。

4.如任一前述權(quán)利要求所述的熱交換器，其特征在于

用于產(chǎn)生所述氣霧劑(50)的裝置包含：

至少兩個(gè)閥門(45)，特別是脈沖閥，在所述至少兩個(gè)冷卻管的進(jìn)口側(cè)提供。

5.如權(quán)利要求1所述的熱交換器，其特征在于

用于產(chǎn)生所述氣霧劑的裝置包含振動(dòng)元件。

6.如任一前述權(quán)利要求所述的熱交換器，進(jìn)一步包含：

控制器(500)，與所述用于產(chǎn)生氣霧劑的裝置通訊；其中所述控制器被配置以調(diào)整以下參數(shù)的至少一個(gè)：脈沖周期(620)、脈沖持續(xù)時(shí)間(630)和脈沖延遲(640)。

7.如任一前述權(quán)利要求所述的熱交換器，其特征在于

所述冷卻管數(shù)目是從2至64，較好地從18至24；和/或

所述冷卻管內(nèi)直徑是從12mm²至200mm²，較好地是從25mm²至80mm²，且更較好地是約50mm²；和/或

與所述加熱管接觸的所述冷卻管的每一部分的長(zhǎng)度是從20cm至100cm，較好地是約40cm。

8.一種用于蒸發(fā)器的冷卻的加熱管，包含：

如權(quán)利要求1至7所述的熱交換器，所述熱交換器與所述加熱管熱接觸。

9.如權(quán)利要求8所述的用于蒸發(fā)器的冷卻的加熱管，進(jìn)一步包含：

凹槽(70)，布置在所述加熱管上，所述冷卻管至少部分地布置在所述凹槽中；且其中所述冷卻管被選擇性地壓配合到所述凹槽中。

10.一種蒸發(fā)器，包含如權(quán)利要求8至9所述的冷卻的加熱管，

其特征在于，所述蒸發(fā)器被選擇性地布置在真空腔室內(nèi)。

11.如權(quán)利要求10所述的蒸發(fā)器，進(jìn)一步包含：

溫度傳感器(80)，用于測(cè)量所述加熱管和/或所述冷卻管的溫度，所述傳感器通訊地耦接到控制器。

12.一種冷卻蒸發(fā)器加熱管的方法，包含：

注射氣霧劑至至少兩個(gè)冷卻管中，所述至少兩個(gè)冷卻管與所述加熱管熱接觸。

13.如權(quán)利要求12所述的冷卻蒸發(fā)器加熱管的方法，其特征在于

所述加熱管的初始溫度是200℃或更高溫度，和

較好地是300℃和更高溫度。

14.如權(quán)利要求12至13所述的冷卻蒸發(fā)器加熱管的方法，其特征在于

流體的注射是脈沖注射；其中

至少一個(gè)脈沖參數(shù)是選擇性可變的，所述至少一個(gè)脈沖參數(shù)是以下至少一個(gè)參數(shù)：脈沖周期(620)、脈沖持續(xù)時(shí)間(630)和脈沖延遲(640)。

15.如權(quán)利要求14所述的冷卻蒸發(fā)器加熱管的方法，其特征在于

所述脈沖持續(xù)時(shí)間(630)是從1毫秒至10毫秒，較好地是從2毫秒至4毫秒，且更較好地是約3毫秒。