[發明專利]一種簡易的BGA植球裝置在審
| 申請號: | 201810567333.0 | 申請日: | 2018-06-05 |
| 公開(公告)號: | CN108878316A | 公開(公告)日: | 2018-11-23 |
| 發明(設計)人: | 宋哲宇;杜松;金龍;張稼祎 | 申請(專利權)人: | 北方電子研究院安徽有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/67 | 分類號: | H01L21/67 |
| 代理公司: | 南京縱橫知識產權代理有限公司 32224 | 代理人: | 耿英;董建林 |
| 地址: | 233040*** | 國省代碼: | 安徽;34 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 活動內框 鋼網 植球裝置 鋼柱 底座 蓋板 簡易 夾具 垂直設置 夾持基板 卡槽固定 生產效率 地連接 可調節 可重復 邊長 彈簧 夾持 上套 植球 生產成本 生產 | ||
1.一種簡易的BGA植球裝置,其特征是,包括底座、活動內框、鋼網和夾持鋼網的蓋板;
底座上垂直設置有四根鋼柱,每根鋼柱上套設一彈簧;活動內框可沿鋼柱垂直運動地連接在底座上;
活動內框上設置有用于可調節的夾持基板的夾具;
蓋板通過卡槽固定在活動內框上方。
2.根據權利要求1所述的一種簡易的BGA植球裝置,其特征是,蓋板包括中空的上蓋板、下蓋板,上蓋板、下蓋板對合后將鋼網夾持固定在其中。
3.根據權利要求1所述的一種簡易的BGA植球裝置,其特征是,活動內框上設置有導軌,夾具為可沿導軌運動的滑塊,通過滑塊夾持固定基板。
4.根據權利要求3所述的一種簡易的BGA植球裝置,其特征是,導軌為十字形交叉形,4個滑塊可分別在導軌內4個方向調節滑動。
5.根據權利要求4所述的一種簡易的BGA植球裝置,其特征是,所述滑塊通過緊固件固定在導軌內。
6.根據權利要求1所述的一種簡易的BGA植球裝置,其特征是,在活動內框的側面設有帶螺紋的把手,把手通過螺紋連接在活動內框側面。
7.根據權利要求6所述的一種簡易的BGA植球裝置,其特征是,所述把手為兩個,對稱設置在活動內框的兩個側面上。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





