[發明專利]薄膜太陽能電池制備方法及其邊緣隔離方法

有效

• 申請號: 201810561244.5
• 申請日: 2018-06-04
• 公開（公告）號: CN108767066B
• 公開（公告）日: 2020-06-12
• 發明（設計）人: 王振華;黃東海;湯志為;黃進陽;樂安新;楊凱;高云峰
• 申請（專利權）人: 大族激光科技產業集團股份有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18;H01L31/0445
• 代理公司: 廣州華進聯合專利商標代理有限公司 44224
• 代理人: 何平

1.一種薄膜太陽能電池邊緣隔離方法，其特征在于，該方法用于對經激光清邊后的薄膜太陽能電池進行邊緣隔離，所述薄膜太陽能電池包括依次層疊設置的襯底基板、背電極層、吸收層和透明導電層，所述薄膜太陽能電池經過激光清邊后，所述襯底基板兩側形成短邊清邊區域，所述短邊清邊區域的延伸方向與薄膜太陽能電池的內聯刻線相垂直，該方法包括以下步驟：

提供經激光清邊后的薄膜太陽能電池；

機械刻刀移動到所述薄膜太陽能電池離所述短邊清邊區域預設距離處；

所述機械刻刀受恒力驅使移動至所述機械刻刀的刀頭正好與所述背電極層的表面接觸；

所述薄膜太陽能電池與所述機械刻刀沿垂直于所述內聯刻線的方向相對移動，使得所述機械刻刀刮除掉所述透明導電層和所述吸收層，以于所述薄膜太陽能電池的離所述短邊清邊區域預設距離處形成隔離槽縫。

2.根據權利要求1所述的薄膜太陽能電池邊緣隔離方法，其特征在于，所述薄膜太陽能電池與所述機械刻刀沿垂直于所述內聯刻線的方向相對移動，使得所述機械刻刀刮除掉所述透明導電層和所述吸收層進一步包括步驟：

所述機械刻刀保持位置不變，所述薄膜太陽能電池沿垂直于所述內聯刻線的方向移動，使得所述機械刻刀刮除掉所述透明導電層和所述吸收層；

或者，

所述薄膜太陽能電池不動，所述機械刻刀沿垂直于所述內聯刻線的方向移動，使得所述機械刻刀刮除掉所述透明導電層和所述吸收層。

3.根據權利要求1所述的薄膜太陽能電池邊緣隔離方法，其特征在于，所述機械刻刀受恒力驅使移動至所述機械刻刀的刀頭正好與所述背電極層的表面接觸的步驟之前，所述機械刻刀先移動到距所述薄膜太陽能電池表面1mm～2mm處。

4.根據權利要求1所述的薄膜太陽能電池邊緣隔離方法，其特征在于，所述恒力為1N～2N，調節精度為0.01N，波動范圍小于5％。

5.根據權利要求1所述的薄膜太陽能電池邊緣隔離方法，其特征在于，所述薄膜太陽能電池通過吸附裝置吸附固定于工作臺上。

6.根據權利要求1-5任一項所述的薄膜太陽能電池邊緣隔離方法，其特征在于，所述機械刻刀的刀頭為鎢鋼材質或金剛石材質。

7.根據權利要求6所述的薄膜太陽能電池邊緣隔離方法，其特征在于，所述機械刻刀的刀頭與所述薄膜太陽能電池的表面垂直度在±5um以內。

8.根據權利要求1所述的薄膜太陽能電池邊緣隔離方法，其特征在于，所述機械刻刀的刃口寬度為0.1mm～0.5mm。

9.根據權利要求1所述的薄膜太陽能電池邊緣隔離方法，其特征在于，所述機械刻刀的刀頭底部平面度在±5um以內。

10.一種薄膜太陽能電池制備方法，其特征在于，包括如權利要求1-9任一項所述的薄膜太陽能電池邊緣隔離方法。