[發(fā)明專利]升降機(jī)、工藝腔設(shè)備及其控制方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201810549693.8
• 申請日: 2018-05-31
• 公開（公告）號: CN108557419A
• 公開（公告）日: 2018-09-21
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 曹京星;楊娜;張津巖
• 申請（專利權(quán)）人: 君泰創(chuàng)新（北京）科技有限公司
• 主分類號: B65G43/08
• 分類號: B65G43/08;B65G47/82;B65G47/90
• 代理公司: 北京尚倫律師事務(wù)所 11477
• 代理人: 劉超

本發(fā)明是關(guān)于一種升降機(jī)、工藝腔設(shè)備及其控制方法，該升降機(jī)包括：驅(qū)動裝置；支撐裝置，連接所述驅(qū)動裝置，且所述驅(qū)動裝置驅(qū)動所述支撐裝置升縮；托臺，與所述支撐裝置連接，在所述支撐裝置的帶動下進(jìn)行升縮。該技術(shù)方案結(jié)構(gòu)簡單易實(shí)現(xiàn)，安裝也簡單。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及機(jī)械技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及升降機(jī)、工藝腔設(shè)備及其控制方法。

背景技術(shù)

在太陽能真空設(shè)備中，經(jīng)常需要一些機(jī)械手將基板送入工藝腔的腔室內(nèi)，工藝腔設(shè)備中的托起裝置托住基板后升起，機(jī)械手就可以退出真空室，完成一次基板由外部至真空室的傳輸。該托起裝置多是采用蝸輪蝸桿結(jié)構(gòu)或滾珠絲杠結(jié)構(gòu)，由電機(jī)作為動力源，在蝸輪蝸桿結(jié)構(gòu)或滾珠絲杠結(jié)構(gòu)與電機(jī)之間安裝導(dǎo)向結(jié)構(gòu)，引導(dǎo)該電機(jī)提供的動力使得蝸輪蝸桿結(jié)構(gòu)或滾珠絲杠結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)上下往復(fù)的運(yùn)動，安裝比較復(fù)雜，并且調(diào)整麻煩。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明實(shí)施例提供升降機(jī)、工藝腔設(shè)備及其控制方法。所述技術(shù)方案如下：

根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的第一方面，提供一種升降機(jī)，包括：

驅(qū)動裝置；

支撐裝置，連接所述驅(qū)動裝置，且所述驅(qū)動裝置驅(qū)動所述支撐裝置升縮；

托臺，與所述支撐裝置連接，在所述支撐裝置的帶動下進(jìn)行升縮。

在一個實(shí)施例中，所述驅(qū)動裝置包括電動滑臺。

在一個實(shí)施例中，所述托臺包括：

托板，與所述支撐裝置一端連接；

托柱，設(shè)置于所述托板，用于支撐被支撐物。

在一個實(shí)施例中，所述支撐裝置包括：

波紋管；

上法蘭，與所述波紋管的一端連接；

下法蘭，與所述波紋管的另一端連接；

內(nèi)柱，與所述驅(qū)動裝置連接，且所述內(nèi)柱設(shè)置于所述波紋管內(nèi)，所述內(nèi)柱的一端與所述波紋管通過下法蘭固定連接；所述內(nèi)柱的另一端穿過所述波紋管一端的上法蘭。

在一個實(shí)施例中，所述上法蘭設(shè)有密封槽。

在一個實(shí)施例中，所述升降機(jī)還包括：

固定架，連接所述驅(qū)動裝置，用于將所述升降機(jī)固定在預(yù)設(shè)位置。

根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的第二方面，提供一種工藝腔設(shè)備，包括上述的升降機(jī)和工藝腔；

其中，所述工藝腔設(shè)置有開孔，所述升降機(jī)的支撐裝置穿過所述開孔，且所述托臺設(shè)置于所述工藝腔內(nèi)。

在一個實(shí)施例中，所述工藝腔為真空腔；所述工藝腔設(shè)備還包括：

密封層，設(shè)置在所述開孔周圍，用于密封所述開孔與所述支撐裝置之間的間隙。

在一個實(shí)施例中，所述支撐裝置包括波紋管，與所述波紋管的一端連接的上法蘭；與所述波紋管的另一端連接的下法蘭；

所述上法蘭設(shè)置于所述開孔周圍；

所述密封層，設(shè)置于所述上法蘭。

在一個實(shí)施例中，所述上法蘭朝向所述開孔一面設(shè)有密封槽；所述密封層設(shè)置于所述密封槽內(nèi)。

在一個實(shí)施例中，包括至少兩個所述升降機(jī)；所述工藝腔的底部對應(yīng)每個升降機(jī)設(shè)置有一個開孔。

在一個實(shí)施例中，所述工藝腔設(shè)備還包括：

傳輸裝置，用于傳輸被支撐物；

位置檢測裝置，用于檢測所述被支撐物位置信息；