[發明專利]升降機、工藝腔設備及其控制方法

在審

• 申請號: 201810549693.8
• 申請日: 2018-05-31
• 公開（公告）號: CN108557419A
• 公開（公告）日: 2018-09-21
• 發明（設計）人: 曹京星;楊娜;張津巖
• 申請（專利權）人: 君泰創新（北京）科技有限公司
• 主分類號: B65G43/08
• 分類號: B65G43/08;B65G47/82;B65G47/90
• 代理公司: 北京尚倫律師事務所 11477
• 代理人: 劉超

1.一種升降機，其特征在于，包括：

驅動裝置；

支撐裝置，連接所述驅動裝置，且所述驅動裝置驅動所述支撐裝置升縮；

托臺，與所述支撐裝置連接，在所述支撐裝置的帶動下進行升縮。

2.根據權利要求1所述的升降機，其特征在于，

所述驅動裝置包括電動滑臺。

3.根據權利要求1所述的升降機，其特征在于，所述托臺包括：

托板，與所述支撐裝置一端連接；

托柱，設置于所述托板，用于支撐被支撐物。

4.根據權利要求1所述的升降機，其特征在于，所述支撐裝置包括：

波紋管；

上法蘭，與所述波紋管的一端連接；

下法蘭，與所述波紋管的另一端連接；

內柱，與所述驅動裝置連接，且所述內柱設置于所述波紋管內，所述內柱的一端與所述波紋管通過下法蘭固定連接；所述內柱的另一端穿過所述波紋管一端的上法蘭。

5.根據權利要求4所述的升降機，其特征在于，所述上法蘭設有密封槽。

6.根據權利要求1所述的升降機，其特征在于，所述升降機還包括：

固定架，連接所述驅動裝置，用于將所述升降機固定在預設位置。

7.一種工藝腔設備，其特征在于，包括權利要求1至6任一項所述的升降機和工藝腔；

其中，所述工藝腔設置有開孔，所述升降機的支撐裝置穿過所述開孔，且所述托臺設置于所述工藝腔內。

8.根據權利要求7所述的工藝腔設備，其特征在于，所述工藝腔為真空腔；所述工藝腔設備還包括：

密封層，設置在所述開孔周圍，用于密封所述開孔與所述支撐裝置之間的間隙。

9.根據權利要求8所述的工藝腔設備，其特征在于，所述支撐裝置包括波紋管，與所述波紋管的一端連接的上法蘭；與所述波紋管的另一端連接的下法蘭；

所述上法蘭設置于所述開孔周圍；

所述密封層，設置于所述上法蘭。

10.根據權利要求9所述的工藝腔設備，其特征在于，所述上法蘭朝向所述開孔一面設有密封槽；所述密封層設置于所述密封槽內。

11.根據權利要求7至10任一項所述的工藝腔設備，其特征在于，包括至少兩個所述升降機；所述工藝腔的底部對應每個升降機設置有一個開孔。

12.根據權利要求7所述的工藝腔設備，其特征在于，所述工藝腔設備還包括：

傳輸裝置，用于傳輸被支撐物；

位置檢測裝置，用于檢測所述被支撐物位置信息；

控制裝置，用于根據所述位置檢測裝置檢測的所述被支撐物位置信息與所述控制裝置內預先存儲的預設位置信息之間的差值，控制所述傳輸裝置和升降機。

13.一種工藝腔設備的控制方法，其特征在于，應用于權利要求7至12任一項所述的工藝腔設備，所述方法包括：

當位置檢測裝置檢測到傳輸裝置將被支撐物運輸至第一預設位置時，控制裝置控制升降機的驅動裝置驅動支撐裝置帶動托臺升起，使得所述被支撐物脫離所述傳輸裝置；

當所述位置檢測裝置檢測到被支撐物已脫離所述傳輸裝置的位置信息時，所述控制裝置控制所述傳輸裝置離開所述工藝腔；

在所述傳輸裝置離開工藝腔后，所述控制裝置控制升降機的驅動裝置驅動支撐裝置帶動托臺上的被支撐物運動至第二預設位置。