[發明專利]化學水浴薄膜的沉積方法

在審

• 申請號: 201810548665.4
• 申請日: 2018-05-31
• 公開（公告）號: CN110556326A
• 公開（公告）日: 2019-12-10
• 發明（設計）人: 陳騰
• 申請（專利權）人: 北京鉑陽頂榮光伏科技有限公司
• 主分類號: H01L21/683
• 分類號: H01L21/683;H01L21/02;H01L31/18
• 代理公司: 11435 北京志霖恒遠知識產權代理事務所(普通合伙)
• 代理人: 郭棟梁

1.一種化學水浴薄膜的沉積方法，其特征在于，包括以下步驟：

復合步驟：將隔離保護層覆蓋在鍍膜襯底的一表面形成一復合層；

反應步驟：將復合層通過水浴反應室，啟動水浴反應，使鍍膜襯底在水浴反應室內進行單面薄膜沉積；

分離步驟：沉積完后進行隔離保護層與鍍膜襯底的分離。

2.根據權利要求1所述的沉積方法，其特征在于，所述復合步驟包括：

在第一放卷輥上穿設隔離保護層，在第二放卷輥上穿設鍍膜襯底；

放卷，使隔離保護層覆蓋在所述鍍膜襯底一表面，形成復合層。

3.根據權利要求1所述的沉積方法，其特征在于，所述分離步驟包括：

將隔離保護層和鍍膜襯底分開，將隔離保護層繞至第一收卷輥，鍍膜襯底纏繞至第二收卷輥。

4.根據權利要求1所述的沉積方法，其特征在于，在反應步驟之后分離步驟之前，還包括：

對復合層兩側殘余反應溶液進行清洗的步驟，以及

對復合層兩側進行烘干的步驟。

5.根據權利要求1-4中任一項所述的沉積方法，其特征在于，所述隔離保護層為柔性磁鐵，所述鍍膜襯底為不銹鋼襯底。

6.根據權利要求5所述的沉積方法，其特征在于，所述柔性磁鐵為具有強磁性的橡膠磁條或磁鐵薄膜。

7.根據權利要求1-4所述的沉積方法，其特征在于，所述鍍膜襯底上設有背電極金屬層和p型光吸收層，所述隔離保護層覆蓋在所述鍍膜襯底遠離背電極金屬層的一面。

8.根據權利要求1-4中任一項所述的沉積方法，其特征在于，還包括固定步驟：將隔離保護層纏繞至第一收卷輥并固定，將鍍膜襯底纏繞至第二收卷輥并固定。

9.根據權利要求1-4中任一項所述的沉積方法，其特征在于，所述隔離保護層和鍍膜襯底寬度相同。

10.根據權利要求1-4任一項所述的沉積方法，其特征在于，所述啟動水浴反應包括：

給水浴反應室的反應槽體加注反應溶液，并升溫，反應溶液沒過鍍膜襯底。

11.根據權利要求10所述的沉積方法，其特征在于，所述反應溶液溫度升至65℃-70℃，然后保持恒溫。

12.根據權利要求10所述的沉積方法，其特征在于，所述反應槽體為耐腐蝕槽體。