[發明專利]離子束照射裝置有效
| 申請號： | 201810532390.5 | 申請日： | 2018-05-29 |
| 公開（公告）號： | CN109427526B | 公開（公告）日： | 2020-07-31 |
| 發明（設計）人： | 土肥正二郎;小野田正敏;高橋元喜 | 申請（專利權）人： | 日新離子機器株式會社 |
| 主分類號： | H01J37/317 | 分類號： | H01J37/317;H01J37/16;H01J37/244 |
| 代理公司： | 北京信慧永光知識產權代理有限責任公司 11290 | 代理人： | 周善來;李雪春 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 離子束 照射 裝置 | ||
1.一種離子束照射裝置，其特征在于，所述離子束照射裝置具有固定在離子束照射位置的束電流測量器，
所述束電流測量器包括：
測量部；以及
防護罩，配置在所述測量部的周圍，
所述防護罩包括：
前面防護罩，具有使離子束的一部分通向所述測量部的開口；
后面防護罩，配置在與所述前面防護罩相對的位置；以及
側面防護罩，配置在所述前面防護罩和所述后面防護罩以外的部位，
在離子束照射裝置的真空室壁面上具有能夠開閉的門，
所述門兼用作所述后面防護罩。
2.根據權利要求1所述的離子束照射裝置，其特征在于，
所述束電流測量器為大致長方體形狀，
在所述后面防護罩或所述側面防護罩上，沿著所述束電流測量器的長邊方向設有永磁體。
3.根據權利要求2所述的離子束照射裝置，其特征在于，
在所述后面防護罩或所述側面防護罩上，沿著所述束電流測量器的短邊方向設有永磁體。
4.根據權利要求1所述的離子束照射裝置，其特征在于，
所述束電流測量器為大致長方體形狀，
在所述后面防護罩或所述側面防護罩上，沿著所述束電流測量器的長邊方向設有施加負或正的電壓的電極。
5.根據權利要求2所述的離子束照射裝置，其特征在于，
在所述后面防護罩或所述側面防護罩上，沿著所述束電流測量器的長邊方向設有施加負或正的電壓的電極。
6.根據權利要求3所述的離子束照射裝置，其特征在于，
在所述后面防護罩或所述側面防護罩上，沿著所述束電流測量器的長邊方向設有施加負或正的電壓的電極。
7.根據權利要求4所述的離子束照射裝置，其特征在于，
在所述后面防護罩或所述側面防護罩上，沿著所述束電流測量器的短邊方向設有施加負或正的電壓的電極。
8.根據權利要求5所述的離子束照射裝置，其特征在于，
在所述后面防護罩或所述側面防護罩上，沿著所述束電流測量器的短邊方向設有施加負或正的電壓的電極。
9.根據權利要求6所述的離子束照射裝置，其特征在于，
在所述后面防護罩或所述側面防護罩上，沿著所述束電流測量器的短邊方向設有施加負或正的電壓的電極。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于日新離子機器株式會社，未經日新離子機器株式會社許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201810532390.5/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
