[發明專利]一種剝離液再生工藝段的光刻膠去除方法

在審

• 申請號: 201810529444.2
• 申請日: 2018-05-29
• 公開（公告）號: CN108873627A
• 公開（公告）日: 2018-11-23
• 發明（設計）人: 周建;蔡雅棠;馬曉明;申丹丹;王超
• 申請（專利權）人: 四川久遠化工技術有限公司
• 主分類號: G03F7/42
• 分類號: G03F7/42;B01D1/22
• 代理公司: 成都行之專利代理事務所(普通合伙) 51220
• 代理人: 唐邦英

本發明公開了一種剝離液再生工藝段的光刻膠去除方法，包括以下步驟：1)、進料：除去水分后的物料由進料管進入到薄膜蒸發器內，所述進料管上設置有換熱器，所述換熱器將物料的溫度降至操作壓力下的泡點以下；2)、物料分離：物料進入薄膜蒸發器后，有效成分被蒸發實現與光刻膠的分離，被蒸發的氣態物料由排料管導出進入下一級工序；3)、光刻膠導出：光刻膠進入到薄膜蒸發器下端的殘渣中間罐進行緩沖過渡，然后導出。本發明不僅能夠實現去除物料中光刻膠的目的，且能夠有效防止薄膜蒸發器內出現閃蒸。

技術領域

本發明涉及剝離液回收技術領域，具體涉及一種剝離液再生工藝段的光刻膠去除方法。

背景技術

近幾年國內電子制造產業發展迅速，剝離液等電子化學品的使用量也大為增加。通常在液晶顯示面板、半導體集成電路等工藝制造過程中，需要用剝離液將涂覆在微電路保護區域上作為掩膜的光刻膠除去。通常使用的剝離液主要包括有機胺和極性有機溶劑的混合物，并含有以少量水為代表的輕組分。

在剝離液應用過程中產生大量剝離液廢液，該廢液中除了含有少量高分子樹脂和水之外，大部分是具有利用價值的有機組分。通常清洗光刻膠需要大量的溶劑，而且這些溶劑價格昂貴，從資源化的觀點出發，循環再生這些溶劑不僅可以減少對環境的危害，還能減低企業的生產成本。

剝離液的回收工藝主要包去除水分段、光刻膠去除段和精制回收段，即剝離液廢液依次經過水分去除、光刻膠去除和精制會收獲得剝離液。

發明內容

本發明的目的在于提供一種剝離液再生工藝段的光刻膠去除方法，不僅能夠實現去除物料中光刻膠的目的，且能夠有效防止薄膜蒸發器內出現閃蒸。

本發明通過下述技術方案實現：

一種剝離液再生工藝段的光刻膠去除方法，包括以下步驟：

1)、進料：除去水分后的物料由進料管進入到薄膜蒸發器內，所述進料管上設置有換熱器，所述換熱器將物料的溫度降至操作壓力下的泡點以下；

2)、物料分離：物料進入薄膜蒸發器后，有效成分被蒸發實現與光刻膠的分離，被蒸發的氣態物料由排料管導出進入下一級工序；

3)、光刻膠導出：光刻膠進入到薄膜蒸發器下端的殘渣中間罐進行緩沖過渡，然后導出。

本發明所述薄膜蒸發器、換熱器均為現有技術，所述殘渣中間罐具體是指一種罐體，用于過渡未被蒸發的光刻膠。

本發明所述的物料中含有20％的光刻膠，80％的有效成分。

本發明的工作過程：物料經脫水精餾塔脫水后，然后經過換熱器換熱后進入薄膜蒸發器內，光阻劑(光刻膠)和有效成分在薄膜蒸發器內被分離，效成分被汽化成氣態，由于光阻劑屬于高分子聚合物沸點很高，所以無法被蒸發，無法被蒸發的液體在薄膜蒸發器內由于重力的作用進入到殘渣中間罐進行緩沖過渡，然后導出，被蒸發的氣態物料進入下一級工序。

因為薄膜蒸發器中的操作壓力低于脫水精餾塔的操作壓力，經脫水精餾塔脫水中的物料如果直接進入薄膜蒸發器中會產生嚴重的閃蒸現象，閃蒸現象會導致嚴重的霧沫夾帶，即很多含有光阻劑的霧沫會進入到下一級工序(精制塔)。

本發明通過將物料導入薄膜蒸發器，在薄膜蒸發器內實現光阻劑(光刻膠)和有效成分的分離。

同時，本發明通過設置換熱器，脫水后的物料在換熱器內將溫度降低至操作壓力下的泡點以下，這樣物料為過冷物料，過冷物料進入薄膜蒸發器可以有效防止閃蒸。

進一步地，殘渣中間罐的底部設置有出料管，所述出料管的末端連接有收集體，所述出料管上設置有殘渣出料泵。

進一步地，殘渣中間罐設置有夾層結構，在夾層結構內設置有加熱機構。