[發(fā)明專利]一種剝離液再生工藝段的光刻膠去除方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201810529444.2
• 申請(qǐng)日: 2018-05-29
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN108873627A
• 公開(kāi)（公告）日: 2018-11-23
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 周建;蔡雅棠;馬曉明;申丹丹;王超
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 四川久遠(yuǎn)化工技術(shù)有限公司
• 主分類號(hào): G03F7/42
• 分類號(hào): G03F7/42;B01D1/22
• 代理公司: 成都行之專利代理事務(wù)所(普通合伙) 51220
• 代理人: 唐邦英

1.一種剝離液再生工藝段的光刻膠去除方法，其特征在于，包括以下步驟：

1)、進(jìn)料：除去水分后的物料由進(jìn)料管(1)進(jìn)入到薄膜蒸發(fā)器(4)內(nèi)，所述進(jìn)料管(1)上設(shè)置有換熱器(2)，所述換熱器(2)將物料的溫度降至操作壓力下的泡點(diǎn)以下；

2)、物料分離：物料進(jìn)入薄膜蒸發(fā)器(4)后，有效成分被蒸發(fā)實(shí)現(xiàn)與光刻膠的分離，被蒸發(fā)的氣態(tài)物料由排料管(3)導(dǎo)出進(jìn)入下一級(jí)工序；

3)、光刻膠導(dǎo)出：光刻膠進(jìn)入到薄膜蒸發(fā)器(4)下端的殘?jiān)虚g罐(5)進(jìn)行緩沖過(guò)渡，然后導(dǎo)出。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種剝離液再生工藝段的光刻膠去除方法，其特征在于，所述殘?jiān)虚g罐(5)的底部設(shè)置有出料管，所述出料管的末端連接有收集體(7)，所述出料管上設(shè)置有殘?jiān)隽媳?6)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種剝離液再生工藝段的光刻膠去除方法，其特征在于，所述殘?jiān)虚g罐(5)設(shè)置有夾層結(jié)構(gòu)，在夾層結(jié)構(gòu)內(nèi)設(shè)置有加熱機(jī)構(gòu)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種剝離液再生工藝段的光刻膠去除方法，其特征在于，所述薄膜蒸發(fā)器(4)內(nèi)壁的表面粗糙度小于等于0.8。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種剝離液再生工藝段的光刻膠去除方法，其特征在于，所述薄膜蒸發(fā)器(4)采用帶有底軸承的結(jié)構(gòu)。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種剝離液再生工藝段的光刻膠去除方法，其特征在于，所述薄膜蒸發(fā)器(4)內(nèi)的刮膜器采用刮塊式刮膜器。

7.根據(jù)權(quán)利要求1-6任一項(xiàng)所述的一種剝離液再生工藝段的光刻膠去除方法，其特征在于，所述薄膜蒸發(fā)器(4)的工作壓力為6KPa，溫度為100℃。