[發明專利]一種固晶擺臂的壓力測量裝置及測量方法

在審

• 申請號: 201810525601.2
• 申請日: 2018-05-28
• 公開（公告）號: CN108375429A
• 公開（公告）日: 2018-08-07
• 發明（設計）人: 許衛林;柴力
• 申請（專利權）人: 東莞市佳駿電子科技有限公司
• 主分類號: G01L1/00
• 分類號: G01L1/00
• 代理公司: 東莞市永橋知識產權代理事務所(普通合伙) 44400
• 代理人: 何新華

1.一種固晶擺臂的壓力測量裝置，其特征在于，包括機架(10)，所述機架(10)上設有固定板(20)，所述固定板(20)的一側固定有滑軌(21)，所述滑軌(21)的一側滑動連接有滑塊(22)，所述滑塊(22)上固定有微型壓力傳感器(23)，所述固定板(20)上還固定有安裝塊(24)，所述安裝塊(24)上安裝有千分尺升降機構(30)，所述千分尺升降機構(30)的輸出端作用于所述滑塊(22)上。

2.根據權利要求1所述的一種固晶擺臂的壓力測量裝置，其特征在于，所述機架(10)和所述固定板(20)之間還設有粗升降機構(11)，所述粗升降機構(11)的輸出端與所述固定板(20)固定連接。

3.根據權利要求2所述的一種固晶擺臂的壓力測量裝置，其特征在于，所述粗升降機構(11)為絲桿升降機構。

4.根據權利要求1所述的一種固晶擺臂的壓力測量裝置，其特征在于，所述千分尺升降機構(30)的輸出端向下，所述滑塊(22)包括固定連接的安裝座(221)和受力驅動板(222)，所述滑塊(22)安裝于所述安裝座(221)上，所述千分尺升降機構(30)的輸出端作用于所述受力驅動板(222)上，所述受力驅動板(222)通過彈簧(25)與所述固定板(20)連接。

5.根據權利要求1所述的一種固晶擺臂的壓力測量裝置，其特征在于，所述千分尺升降機構(30)包括固定套筒(31)，所述固定套筒(31)內連接有輸出螺桿(32)，所述輸出螺桿(32)的一端連接有微分筒(33)，所述微分筒(33)套設于所述固定套筒(31)外。

6.根據權利要求1所述的一種固晶擺臂的壓力測量裝置，其特征在于，所述千分尺升降機構(30)為數顯千分尺結構。

7.一種應用于權利要求1～6任一所述固晶擺臂的壓力測量裝置的測量方法，其特征在于，包括以下步驟：

A、移動支架(10)，使微型壓力傳感器(23)位于固晶擺臂吸嘴的正下方；

B、調節千分尺升降機構(30)使滑塊(22)在滑軌(21)中升降，直至所述微型壓力傳感器(23)剛好接觸到所述固晶擺臂吸嘴，設所述千分尺升降機構(30)和所述微型壓力傳感器(23)的讀數為0；

C、調節所述千分尺升降機構(30)使所述微型壓力傳感器(23)上升1mm，所述微型壓力傳感器(23)的讀數為固晶擺臂的壓力值。