[發(fā)明專利]一種固晶擺臂的壓力測(cè)量裝置及測(cè)量方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201810525601.2
• 申請(qǐng)日: 2018-05-28
• 公開（公告）號(hào): CN108375429A
• 公開（公告）日: 2018-08-07
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 許衛(wèi)林;柴力
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 東莞市佳駿電子科技有限公司
• 主分類號(hào): G01L1/00
• 分類號(hào): G01L1/00
• 代理公司: 東莞市永橋知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 44400
• 代理人: 何新華

本發(fā)明系提供一種固晶擺臂的壓力測(cè)量裝置及測(cè)量方法，包括機(jī)架，機(jī)架上設(shè)有固定板，固定板的一側(cè)固定有滑軌，滑軌的一側(cè)滑動(dòng)連接有滑塊，滑塊上固定有微型壓力傳感器，固定板上還固定有安裝塊，安裝塊上安裝有千分尺升降機(jī)構(gòu)，千分尺升降機(jī)構(gòu)的輸出端作用于滑塊上；移動(dòng)支架使微型壓力傳感器位于固晶擺臂吸嘴的正下方，調(diào)節(jié)千分尺升降機(jī)構(gòu)直至微型壓力傳感器剛好接觸到固晶擺臂吸嘴，調(diào)節(jié)千分尺升降機(jī)構(gòu)使微型壓力傳感器上升1mm，微型壓力傳感器的讀數(shù)為固晶擺臂的壓力值。本發(fā)明能夠顯著簡(jiǎn)化固晶擺臂壓力的測(cè)量操作，且各個(gè)結(jié)構(gòu)的配合連貫可靠，能夠?yàn)閴毫y(cè)量提供穩(wěn)定可靠的前提條件，測(cè)量精度高、測(cè)量的重復(fù)再現(xiàn)性好。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及壓力測(cè)量，具體公開了一種固晶擺臂的壓力測(cè)量裝置及測(cè)量方法。

背景技術(shù)

晶片是微型電子元件的核心結(jié)構(gòu)，在二極管、三極管等電子元件的制作過程中，需要將晶片固定于框架上，然后再進(jìn)行注塑封裝的操作。

固晶過程是電機(jī)驅(qū)動(dòng)設(shè)有吸嘴的固晶擺臂擺動(dòng)，固晶擺臂到達(dá)晶片盤或框架上方時(shí)，驅(qū)動(dòng)固晶擺臂下降取料或供料，固晶擺臂升降的力度過大或過小都會(huì)影響固晶效果，因而一般都需要對(duì)固晶擺臂的壓力進(jìn)行測(cè)量?，F(xiàn)有技術(shù)中，測(cè)量固晶擺臂壓力的方法是通過手動(dòng)測(cè)力計(jì)拉動(dòng)固晶擺臂，測(cè)力計(jì)的讀數(shù)便為固晶擺臂的壓力，工人手動(dòng)抬起測(cè)力計(jì)時(shí)，存在手抖動(dòng)、拉起高度不準(zhǔn)確等不確定因素，會(huì)嚴(yán)重影響測(cè)量結(jié)果。

發(fā)明內(nèi)容

基于此，有必要針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)問題，提供一種固晶擺臂的壓力測(cè)量裝置及測(cè)量方法，能夠顯著簡(jiǎn)化固晶擺臂壓力的測(cè)量操作，且測(cè)量精度高、測(cè)量的重復(fù)再現(xiàn)性好。

為解決現(xiàn)有技術(shù)問題，本發(fā)明公開一種固晶擺臂的壓力測(cè)量裝置，包括機(jī)架，機(jī)架上設(shè)有固定板，固定板的一側(cè)固定有滑軌，滑軌的一側(cè)滑動(dòng)連接有滑塊，滑塊上固定有微型壓力傳感器，固定板上還固定有安裝塊，安裝塊上安裝有千分尺升降機(jī)構(gòu)，千分尺升降機(jī)構(gòu)的輸出端作用于滑塊上。

進(jìn)一步的，機(jī)架和固定板之間還設(shè)有粗升降機(jī)構(gòu)，粗升降機(jī)構(gòu)的輸出端與固定板固定連接。

進(jìn)一步的，粗升降機(jī)構(gòu)為絲桿升降機(jī)構(gòu)。

進(jìn)一步的，千分尺升降機(jī)構(gòu)的輸出端向下，滑塊包括固定連接的安裝座和受力驅(qū)動(dòng)板，滑塊安裝于安裝座上，千分尺升降機(jī)構(gòu)的輸出端作用于受力驅(qū)動(dòng)板上，受力驅(qū)動(dòng)板通過彈簧與固定板連接。

進(jìn)一步的，千分尺升降機(jī)構(gòu)包括固定套筒，固定套筒內(nèi)連接有輸出螺桿，輸出螺桿的一端連接有微分筒，微分筒套設(shè)于固定套筒外。

進(jìn)一步的，千分尺升降機(jī)構(gòu)為數(shù)顯千分尺結(jié)構(gòu)。

本發(fā)明還公開一種固晶擺臂的壓力測(cè)量方法，包括以下步驟：

A、移動(dòng)支架，使微型壓力傳感器位于固晶擺臂吸嘴的正下方；

B、調(diào)節(jié)千分尺升降機(jī)構(gòu)使滑塊在滑軌中升降，直至微型壓力傳感器剛好接觸到固晶擺臂吸嘴，設(shè)千分尺升降機(jī)構(gòu)和微型壓力傳感器的讀數(shù)為0；

C、調(diào)節(jié)千分尺升降機(jī)構(gòu)使微型壓力傳感器上升1mm，微型壓力傳感器的讀數(shù)為固晶擺臂的壓力值。

本發(fā)明的有益效果為：本發(fā)明公開一種固晶擺臂的壓力測(cè)量裝置及測(cè)量方法，設(shè)置可靠的測(cè)量結(jié)構(gòu)，能夠顯著簡(jiǎn)化測(cè)量固晶擺臂壓力的操作，可顯著降低作業(yè)人員的工作強(qiáng)度，且各個(gè)結(jié)構(gòu)的配合連貫可靠，能夠?yàn)閴毫y(cè)量提供穩(wěn)定可靠的前提條件，測(cè)量精度高、測(cè)量的重復(fù)再現(xiàn)性好，裝置整體結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，制作成本較低。

附圖說明

圖1為本發(fā)明的立體結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2為本發(fā)明在圖1中a的放大結(jié)構(gòu)示意圖。