[發(fā)明專利]一種超硬防水防污耐磨鍍膜、鍍制工藝及其檢測(cè)方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201810523964.2
• 申請(qǐng)日: 2018-05-28
• 公開（公告）號(hào): CN108559950A
• 公開（公告）日: 2018-09-21
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李智超;畢文江;朱金波;郭富強(qiáng);付勇
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 河南鍍邦光電股份有限公司
• 主分類號(hào): C23C14/06
• 分類號(hào): C23C14/06;C23C14/10;C23C14/35;G01N3/56
• 代理公司: 鄭州紅元帥專利代理事務(wù)所(普通合伙) 41117
• 代理人: 秦舜生

1.一種超硬防水防污耐磨鍍膜，其特征在于：包括基底層和依次設(shè)于所述基底層上方的膜層、防污層及空氣介質(zhì)層，所述基底層厚度為0.05~0.8mm；所述膜層為硅氮化物和硅氧化物交替排列而成，厚度為300~650 nm；所述防污層厚度為10~20mm；所述空氣介質(zhì)層是折射率NA=1的空氣介質(zhì)，波長(zhǎng)λc=550nm；所述膜層與所述防污層之間設(shè)有顏色膜層，所述顏色膜層為香檳金，或銀色，或亮藍(lán)色。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的超硬防水防污耐磨鍍膜，其特征在于：所述基底層采用陶瓷作為基材。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的超硬防水防污耐磨鍍膜，其特征在于：所述防污層采用氟聚合物來(lái)制備。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的超硬防水防污耐磨鍍膜，其特征在于：所述顏色膜層為香檳金時(shí)，所述膜層厚度為300-600nm。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的超硬防水防污耐磨鍍膜，其特征在于：所述顏色膜層為亮藍(lán)色時(shí)，所述膜層厚度為300-500nm。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的超硬防水防污耐磨鍍膜，其特征在于：所述顏色膜層為銀色時(shí)，所述膜層厚度為300-650nm。

7.一種超硬防水防污耐磨鍍膜的鍍制方法，其特征在于包括以下步驟：1）選取陶瓷作為基底層，并對(duì)基底層進(jìn)行擦拭和清洗干凈；2）待鍍膜材料上盤裝機(jī)后，進(jìn)行離子清掃，離子清掃時(shí)使用氬氣和氧氣，流量均為10~40sccm，處理時(shí)間為60~180秒；3）清掃后的鍍膜材料在4-10KW功率下，選取真空度為3.0~4.5x10^-3Pa的條件，選定工作氣體為氬氣，流量為200~400sccm，反應(yīng)氣體為氧氣，氧氣流量為200~350sccm，在氬氣和氧氣的氛圍中形成硅原子和硅化合物分子，在磁場(chǎng)和電場(chǎng)的作用下電離出大量Ar+離子，通過(guò)Ar+離子對(duì)Si靶材表面的轟擊，使Si離子與O離子或N離子結(jié)合，在真空室內(nèi)結(jié)合成SiO₂及Si₃N_x(x=3~5)；4）根據(jù)已設(shè)定的膜系公式和各層的厚度，通過(guò)濺射鍍膜機(jī)的編制，硅氧化物SiO₂和硅氮化物Si₃N_x(x=3~5)交替排列多層濺落在基底層表面，在基底層表面經(jīng)過(guò)有序沉積后形成目標(biāo)膜層，在目標(biāo)膜層上加鍍顏色膜層，之后通過(guò)電阻熱蒸鍍方式在顏色膜層表面沉積氟聚合物防污層，該防污層對(duì)顏色影響很小，能夠顯著改善鍍膜薄片的防水防指紋性能。

8.根據(jù)權(quán)利要求4所述的超硬防水防污耐磨鍍膜的鍍制方法，其特征在于：濺射鍍膜機(jī)工作時(shí)，將基底層掛于滾筒上，在滾筒旋轉(zhuǎn)時(shí)濺射成膜。