[發明專利]一種新型的ALD設備前驅體源載氣加熱方法在審
| 申請號： | 201810523386.2 | 申請日： | 2018-05-28 |
| 公開（公告）號： | CN108677165A | 公開（公告）日： | 2018-10-19 |
| 發明（設計）人： | 張洪國;鄭委;雷曼;夏樹勝;馬軍濤 | 申請（專利權）人： | 滁州國凱電子科技有限公司 |
| 主分類號： | C23C16/455 | 分類號： | C23C16/455 |
| 代理公司： | 江蘇斐多律師事務所 32332 | 代理人： | 袁敏 |
| 地址： | 239000 安徽省滁州市世*** | 國省代碼： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 氣源瓶 前驅體源 出氣管路 進氣管路 飽和蒸汽壓 載氣 加熱 反應前驅體 有效地減少 質量流量計 反應前驅 加熱方式 氣體殘余 氣源溫度 溫度設定 一端連接 準確控制 出氣管 出氣口 反應腔 加熱帶 氣管路 有效地 伴熱 外設 熱帶 擴散 | ||
1.一種新型的ALD設備前驅體源載氣加熱方法，包括質量流量計(1)、進氣管路(2)、前驅體體源瓶(3)、反應前軀體(4)、出氣管路(5)、反應腔(6)，其特征在于：所述的前驅體源載氣加熱方法還包括快速響應閥(7)、熱交換器(8)及熱交換器(9)。
2.如權利要求1所述的前驅體源載氣加熱方法，其特征在于：所述的快速響應閥(7)一個設置于進氣管路(2)上，另一個設置于出口管路(5)。
3.如權利要求1所述的前驅體源載氣加熱方法，其特征在于：所述的熱交換器(8)設置在質量流量計(1)與快速響應閥(7)之間，并與口氣管路(2)連接；所述的熱交換器(9)設置在進氣管路(2)與出氣管路(5)接口處的上端。
4.如權利要求1所述的前驅體源載氣加熱方法，其特征在于：所述的加熱組件(8)與加熱組件(9)為LINTEC HX-0100C。
5.如權利要求1所述的前驅體源載氣加熱方法，其特征在于：所述出氣管路(5)與進氣管路(2)在前驅體體源瓶(3)的上部連接；出氣管路(5)一端通入前軀體源瓶(3)中；另一端經過熱交換器(9)經過快速響應閥(7)通向反應腔(6)。
6.如權利要求1所述的前驅體源載氣加熱方法，其特征在于：所述的出氣管路(5)通入前軀體源瓶(3)的長度為距瓶口1/3。
7.根據權利要求1所述的前驅體源載氣加熱方法，其特征在于，所述熱交換器(8)設定溫度為170度。
8.根據權利要求1所述的前驅體源載氣加熱方法，其特征在于，所述熱交換器(9)設定溫度為170度。
9.根據權利要求1所述的前驅體源載氣加熱方法，其特征在于，所述管路各處的連接均為密封方式連接。
10.根據權利要求1所述的前驅體源載氣加熱方法，其特征在于，所述進氣管路(2)中通入的載氣為惰性氣體N2。
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C23C 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面擴散法，化學轉化或置換法的金屬材料表面處理；真空蒸發法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆
C23C16-00 通過氣態化合物分解且表面材料的反應產物不留存于鍍層中的化學鍍覆，例如化學氣相沉積
C23C16-01 .在臨時基體上，例如在隨后通過浸蝕除去的基體上
C23C16-02 .待鍍材料的預處理
C23C16-04 .局部表面上的鍍覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金屬材料的沉積為特征的
C23C16-22 .以沉積金屬材料以外之無機材料為特征的
