[發明專利]傳送裝置及顯影機

在審

• 申請號: 201810516091.2
• 申請日: 2018-05-25
• 公開（公告）號: CN108732875A
• 公開（公告）日: 2018-11-02
• 發明（設計）人: 涂樂志
• 申請（專利權）人: 深圳市華星光電技術有限公司
• 主分類號: G03F7/30
• 分類號: G03F7/30
• 代理公司: 深圳市德力知識產權代理事務所 44265
• 代理人: 林才桂;程曉

本發明提供一種傳送裝置及顯影機。本發明的傳送裝置包括傳動滾輪組、套設于所述傳送滾輪組上的傳送帶及均勻設于所述傳送帶上的多個超聲支撐凸起，每一超聲支撐凸起包括超聲振子及在傳送帶上包覆超聲振子的支撐蓋體，在傳輸基板過程中，所述超聲支撐凸起通過超聲振子發出超聲波，基板由超聲支撐凸起所接觸支撐，因此基板在傳送帶上傳輸時，超聲支撐凸起會讓基板上的顯影液處于超聲環境中，能夠實時除去顯影液里的氣泡，同時促進基板上顯影液分布的均勻性，從而能夠提高顯影液顯影能力的均勻性。本發明的顯影機包括上述傳送裝置，能夠實時除去顯影液里的氣泡，同時促進基板上顯影液分布的均勻性，從而能夠提高顯影液顯影能力的均勻性。

技術領域

本發明涉及顯示技術領域，尤其涉及一種傳送裝置及顯影機。

背景技術

在顯示技術領域，液晶顯示器(Liquid Crystal Display，LCD)與有機發光二極管(Organic Light Emitting Diode，OLED)顯示器等平板顯示器已經逐步取代CRT顯示器，廣泛的應用于液晶電視、手機、個人數字助理、數字相機、計算機屏幕或筆記本電腦屏幕等。

顯示面板是LCD、OLED的重要組成部分。不論是LCD的顯示面板，還是OLED的顯示面板，通常都具有一薄膜晶體管(Thin Film Transistor，TFT)基板。以LCD的顯示面板為例，其主要是由TFT基板、彩膜(Color Filter，CF)基板以及配置于兩基板間的液晶層和密封框膠(Sealant)所構成，其成型工藝一般包括：前段陣列(Array)制程(薄膜、黃光、蝕刻及剝膜)、中段成盒(Cell)制程(TFT基板與CF基板貼合)及后段模組組裝制程(驅動IC與印刷電路板壓合)。其中，前段Array制程主要是形成TFT基板，以便于控制液晶分子的運動；中段Cell制程主要是在TFT基板與CF基板之間添加液晶；后段模組組裝制程主要是驅動IC壓合與印刷電路板的整合，進而驅動液晶分子轉動，顯示圖像。

目前在平板顯示面板的制造過程中，會多次利用黃光制程將所需圖案轉印到玻璃基板上，清洗、去水干燥、涂布、預烘烤、曝光、顯影和后烘烤是黃光制程的主要制程單元，具體工藝過程包括：將光阻涂布到基板上，然后經過預烘烤固化、曝光機照射后，到顯影單元進行顯影處理，最后經過后烘烤制程，完成整個圖形的轉印，因此顯影是黃光制程中的重要流程。目前主流的噴淋(SPRAY)顯影工藝中，通過噴頭將顯影液充分噴射到曝光后的光阻上進行顯影，顯影液很容易起泡；另外在光阻顯影時，當空氣進入顯影液時會產生微小氣泡，形成泡沫。泡沫的殘留會阻擋顯影液與光阻的接觸，導致未曝光光阻除去不充分，顯影效果差，從而影響布線的完整性和精細度。為了抑制泡沫帶來的副作用，向顯影液中添加消泡劑是目前常見的消泡手段，但是消泡劑使用過程中，會不斷地溶解抗蝕劑，長久使用會影響顯影效果。

發明內容

本發明的目的在于提供一種傳送裝置，能夠實時除去顯影液里的氣泡，同時促進基板上顯影液分布的均勻性，從而能夠提高顯影液顯影能力的均勻性。

本發明的目的還在于提供一種顯影機，采用上述的傳送裝置，能夠實時除去顯影液里的氣泡，同時促進基板上顯影液分布的均勻性，從而能夠提高顯影液顯影能力的均勻性。

為實現上述目的，本發明提供一種傳送裝置，用于在顯影機內傳輸基板，包括傳動滾輪組、套設于所述傳送滾輪組上的傳送帶及均勻設于所述傳送帶上的多個超聲支撐凸起；

每一超聲支撐凸起包括超聲振子及在傳送帶上包覆超聲振子的支撐蓋體；

在傳輸基板過程中，所述超聲支撐凸起通過超聲振子發出超聲波，所述基板由超聲支撐凸起所接觸支撐。

所述支撐蓋體包括圓柱形的基座及設于基座上的半球形的接觸帽。

所述接觸帽的直徑為0.5cm-1.0cm，所述基座的直徑等于所述接觸帽的直徑，所述基座的高為0.1cm-0.5cm。