[發明專利]傳送裝置及顯影機在審
| 申請號： | 201810516091.2 | 申請日： | 2018-05-25 |
| 公開（公告）號： | CN108732875A | 公開（公告）日： | 2018-11-02 |
| 發明（設計）人： | 涂樂志 | 申請（專利權）人： | 深圳市華星光電技術有限公司 |
| 主分類號： | G03F7/30 | 分類號： | G03F7/30 |
| 代理公司： | 深圳市德力知識產權代理事務所 44265 | 代理人： | 林才桂;程曉 |
| 地址： | 518132 廣東*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 支撐凸起 顯影液 超聲 傳送帶 傳送裝置 均勻性 超聲振子 顯影機 基板 基板上顯影液 顯影能力 傳動滾輪組 傳送滾輪組 超聲環境 傳輸基板 支撐蓋體 超聲波 包覆 傳輸 支撐 | ||
1.一種傳送裝置，其特征在于，用于在顯影機內傳輸基板(50)，包括傳動滾輪組(11)、套設于所述傳送滾輪組(11)上的傳送帶(12)及均勻設于所述傳送帶(12)上的多個超聲支撐凸起(21)；
每一超聲支撐凸起(21)包括超聲振子(211)及在傳送帶(12)上包覆超聲振子(211)的支撐蓋體(212)；
在傳輸基板(50)過程中，所述超聲支撐凸起(21)通過超聲振子(211)發出超聲波，所述基板(50)由超聲支撐凸起(21)所接觸支撐。
2.如權利要求1所述的傳送裝置，其特征在于，所述支撐蓋體(212)包括圓柱形的基座(213)及設于基座(213)上的半球形的接觸帽(214)。
3.如權利要求2所述的傳送裝置，其特征在于，所述接觸帽(214)的直徑為0.5cm-1.0cm，所述基座(213)的直徑等于所述接觸帽(214)的直徑，所述基座(213)的高為0.1cm-0.5cm。
4.如權利要求1所述的傳送裝置，其特征在于，所述超聲振子(211)的底部嵌于所述傳送帶(12)中，所述支撐蓋體(212)可拆卸設置于所述傳送帶(12)上。
5.如權利要求1所述的傳送裝置，其特征在于，所述傳送滾輪組(11)、傳送帶(12)和支撐蓋體(212)的材料包括聚氯乙烯、聚乙烯及哈氏合金中的至少一種。
6.如權利要求1所述的傳送裝置，其特征在于，所述支撐蓋體(212)為半球形或圓柱形。
7.如權利要求1所述的傳送裝置，其特征在于，所述傳送帶(12)為骨架型傳送帶，所述傳送帶(12)包括整體呈網格狀的骨架層(121)。
8.如權利要求7所述的傳送裝置，其特征在于，所述傳送帶(12)還包括覆蓋所述骨架層(121)的呈整面狀的帶體(122)。
9.如權利要求1所述的傳送裝置，其特征在于，所述傳送滾輪組(11)包括多個承載滾輪(111)，所述多個承載滾輪(111)中相鄰的兩個承載滾輪(111)通過傳送帶(12)連接。
10.一種顯影機，其特征在于，包括如權利要求1-9中任一項所述的傳送裝置及設于所述傳送裝置上方用于向基板(50)噴淋顯影液的噴淋裝置(30)。
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