[發明專利]帶異物檢測功能的基板吸附設備及異物檢測方法

有效

• 申請號: 201810515415.0
• 申請日: 2018-05-25
• 公開（公告）號: CN108630586B
• 公開（公告）日: 2021-03-02
• 發明（設計）人: 高攀
• 申請（專利權）人: TCL華星光電技術有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/683;H01L21/66
• 代理公司: 深圳市德力知識產權代理事務所 44265
• 代理人: 林才桂;王中華

1.一種帶異物檢測功能的基板吸附設備，其特征在于，包括：真空吸附平臺(1)、設于所述真空吸附平臺(1)上的一個第一頂針(2)、設于所述真空吸附平臺(1)上的均勻分布于所述第一頂針(2)四周的多個第二頂針(3)、安裝于所述第一頂針(2)上的能圍繞第一頂針(2)旋轉的信號收發裝置(4)以及與所述第一頂針(2)、第二頂針(3)及信號收發裝置(4)電性連接的控制模塊(5)，所述第一頂針(2)和第二頂針(3)均能沿垂直于所述真空吸附平臺(1)的方向進行升降。

2.如權利要求1所述的帶異物檢測功能的基板吸附設備，其特征在于，所述信號收發裝置(4)為電磁信號收發裝置、光電信號收發裝置或脈沖信號收發裝置。

3.如權利要求1所述的帶異物檢測功能的基板吸附設備，其特征在于，所述第一頂針(2)和第二頂針(3)的材料均為特氟龍或環氧樹脂。

4.如權利要求1所述的帶異物檢測功能的基板吸附設備，其特征在于，所述第二頂針(3)的數量為24個，所述24個第二頂針(3)與第一頂針(2)共同排列成5行5列且所述第一頂針(2)位于第3行第3列。

5.一種異物檢測方法，其特征在于，應用于如權利要求1至4任一項所述的帶異物檢測功能的基板吸附設備，包括如下步驟：

提供一基板(10)，所述控制模塊(5)控制所述第一頂針(2)和第二頂針(3)升起，將基板(10)放置到所述第一頂針(2)和第二頂針(3)上，且所述基板(10)的中心點對應位于所述第一頂針(2)上；

所述控制模塊(5)控制所述信號收發裝置(4)發出檢測信號，同時所述信號收發裝置(4)圍繞所述第一頂針(2)旋轉，所述檢測信號貼合所述基板(10)的背面傳播；

所述信號收發裝置(4)接收到反射回的檢測信號時，控制模塊(5)判定基板(10)的背面存在異物，并根據檢測信號的發出與接收的時間間隔以及信號收發裝置(4)的當前旋轉角度判定所述異物的位置；

在每一輪檢測信號的發射時間內，所述控制模塊(5)進行異物判斷時，還剔除該一輪檢測信號發射時間內，處于升起狀態的各個頂針組的第二頂針(3)反射回的檢測信號，以避免誤判。

6.如權利要求5所述的異物檢測方法，其特征在于，在進行所述控制模塊(5)控制所述信號收發裝置(4)發出檢測信號，同時所述信號收發裝置(4)圍繞所述第一頂針(2)旋轉的步驟的同時還進行以下步驟：提供一光電傳感器(7)，通過所述光電傳感器(7)向所述基板(10)的正面發射光信號，以根據所述基板(10)反射回來光信號的強度變化檢測所述基板(10)的正面是否存在異物。

7.如權利要求5所述的異物檢測方法，其特征在于，所述控制模塊(5)控制所述信號收發裝置(4)發出檢測信號，同時所述信號收發裝置(4)圍繞所述第一頂針(2)旋轉的步驟具體包括：

將所述第二頂針(3)分為N個頂針組，每一個頂針組均包括多個第二頂針(3)，同一個頂針組中的多個第二頂針(3)均勻分布于所述第一頂針(2)的四周，且不同頂針組中的兩第二頂針(3)與第一頂針(2)分布于不共線的三點，N為大于1的正整數；

進行N輪檢測信號的發射，在每一輪檢測信號的發射時間內，所述信號收發裝置(4)圍繞所述第一頂針(2)旋轉一周，所述多個頂針組中的一個頂針組下降；在不同輪的檢測信號的發射時間內，下降的頂針組不同。

8.如權利要求5所述的異物檢測方法，其特征在于，所述異物檢測方法的檢測精度大于0.1um。

9.如權利要求5所述的異物檢測方法，其特征在于，剔除被第二頂針(3)反射回的檢測信號后，所述信號收發裝置(4)未接收到其他被反射回的檢測信號時，判定基板(10)的背面無異物。